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中微蝕刻機(jī)與臺積電合作 攜手45納米前進(jìn)32納米

作者: 時間:2009-03-02 來源:SEMI 收藏
        據(jù)DigiTimes網(wǎng)站報道,大陸本土設(shè)備業(yè)者盡管在與國際大廠應(yīng)用材料(Applied Materials)及科林研發(fā)(Lam Research)官司纏訟之中,但開拓市場腳步未停歇,目前45臺已經(jīng)打入12寸廠,正在進(jìn)行設(shè)備驗證,同時也與韓國存儲器業(yè)者合作當(dāng)中。亞太區(qū)總經(jīng)理朱新武表示,完全是走自主研發(fā)路線,目前不僅65/45機(jī)臺已打入一線業(yè)者供應(yīng)商行列,也已著手下1世代32制程技術(shù)研發(fā)。

        中微是目前大陸最具潛力的本土半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)者,其設(shè)備已獲得中芯國際12寸廠采用,主要投資者包括知名創(chuàng)投業(yè)者華登(Walden)、LightSpeed、Redpoint,以及投資銀行高盛(Goldman Sachs)、半導(dǎo)體業(yè)者高通(Qualcomm)及科磊(KLA-Tencor)等。

本文引用地址:http://www.butianyuan.cn/article/91874.htm

        中微表示,2008年10月完成C系列(Series C)集資動作后,所籌集資金1.69億美元可因應(yīng)到2011年營運(yùn)所需不成問題。中微除投資者大有來頭,最近與國際大廠的纏訟案也成為外界矚目焦點(diǎn),包括對上應(yīng)用材料及科林研發(fā)等,據(jù)了解,與應(yīng)用材料的商業(yè)秘密官司,有可能在近日內(nèi)朝向和解方向發(fā)展,而科林在新竹提出的專利權(quán)訴訟,則將于近日內(nèi)開庭,中微堅稱設(shè)備專利都是自行研發(fā)。

        據(jù)了解,中微目前為就近臺灣市場,也在新竹設(shè)立辦公室就近服務(wù)客戶,目前中微已打入供應(yīng)商行列,其65/45納米邏輯臺正在12寸廠驗證當(dāng)中,順利的話,下半年便可出貨。此外,中微也與韓系存儲器大廠合作中,并已投入下1世代32納米制程技術(shù)機(jī)臺研發(fā)。

        中微在2009年半導(dǎo)體年會也獲得設(shè)備類技術(shù)獎,中微表示,目前超高頻去耦型等離子共有2個反應(yīng)腔,每個反應(yīng)腔中都有3~4個反應(yīng)室,目前采用技術(shù)即便是國際設(shè)備大廠的專利技術(shù),也難以達(dá)成目前中微機(jī)臺的蝕刻效率。



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