中微蝕刻機(jī)與臺積電合作攜手45納米前進(jìn)32納米

作者：時間：2009-03-02 來源：SEMI

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據(jù)DigiTimes網(wǎng)站報道，大陸本土半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)者中微 半導(dǎo)體盡管在與國際大廠應(yīng)用材料(Applied Materials)及科林研發(fā)(Lam Research)官司纏訟之中，但開拓市場腳步未停歇，目前45納米 蝕刻機(jī)臺已經(jīng)打入臺積電12寸廠，正在進(jìn)行設(shè)備驗證，同時也與韓國存儲器業(yè)者合作當(dāng)中。中微亞太區(qū)總經(jīng)理朱新武表示，中微完全是走自主研發(fā)路線，目前不僅65/45納米機(jī)臺已打入一線半導(dǎo)體業(yè)者供應(yīng)商行列，也已著手下1世代32納米制程技術(shù)研發(fā)。

中微是目前大陸最具潛力的本土半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)者，其設(shè)備已獲得中芯國際12寸廠采用，主要投資者包括知名創(chuàng)投業(yè)者華登(Walden)、LightSpeed、Redpoint，以及投資銀行高盛(Goldman Sachs)、半導(dǎo)體業(yè)者高通(Qualcomm)及科磊(KLA-Tencor)等。

本文引用地址：http://www.butianyuan.cn/article/91874.htm

中微表示，2008年10月完成C系列(Series C)集資動作后，所籌集資金1.69億美元可因應(yīng)到2011年營運(yùn)所需不成問題。中微除投資者大有來頭，最近與國際大廠的纏訟案也成為外界矚目焦點(diǎn)，包括對上應(yīng)用材料及科林研發(fā)等，據(jù)了解，與應(yīng)用材料的商業(yè)秘密官司，有可能在近日內(nèi)朝向和解方向發(fā)展，而科林在新竹提出的專利權(quán)訴訟，則將于近日內(nèi)開庭，中微堅稱設(shè)備專利都是自行研發(fā)。

據(jù)了解，中微目前為就近臺灣市場，也在新竹設(shè)立辦公室就近服務(wù)客戶，目前中微已打入臺積電供應(yīng)商行列，其65/45納米邏輯蝕刻機(jī)臺正在臺積電12寸廠驗證當(dāng)中，順利的話，下半年便可出貨。此外，中微也與韓系存儲器大廠合作中，并已投入下1世代32納米制程技術(shù)機(jī)臺研發(fā)。

中微在2009年半導(dǎo)體年會也獲得設(shè)備類技術(shù)獎，中微表示，目前超高頻去耦型等離子蝕刻機(jī)共有2個反應(yīng)腔，每個反應(yīng)腔中都有3~4個反應(yīng)室，目前采用技術(shù)即便是國際設(shè)備大廠的專利技術(shù)，也難以達(dá)成目前中微機(jī)臺的蝕刻效率。