陶氏電子材料推出OPTIVISIONTM 4540 化學(xué)機械研磨墊

　　陶氏電子材料 (Dow Electronic Materials)今天推出了 OPTIVISIONTM 4540 化學(xué)機械研磨墊，該產(chǎn)品的設(shè)計目標是在研磨墊的使用壽命內(nèi)實現(xiàn)低缺陷率和低擁有成本。這款新研磨墊使用了獨特的聚合物化學(xué)組成和細孔結(jié)構(gòu)，以達到使銅阻擋層研磨的缺陷率降至最低，并提供更高的介電層去除率。OPTIVISION™ 4540 研磨墊擁有雙孔結(jié)構(gòu)以精確控制研磨，并且在研磨墊使用壽命中提供一致的研磨墊表面。

　　OPTIVISION™ 4540 研磨墊可用于使用傳統(tǒng)軟墊的多種應(yīng)用。尤其在銅阻擋層研磨方面，與 POLITEXTM 研磨墊產(chǎn)品相比，它在顫動和微劃痕缺陷率方面取得了一個數(shù)量級的進步，從而實現(xiàn)了更高的生產(chǎn)良率。與 POLITEXTM 研磨墊相比，OPTIVISION™ 4540 研磨墊的四乙氧基硅烷 (TEOS) 去除率提高了40%，從而實現(xiàn)了更高的產(chǎn)量和更低的擁有成本。

　　陶氏電子材料研磨墊行銷經(jīng)理 Dave Ventura 表示：“我們的新研磨墊目的是直接因應(yīng)市場對更高產(chǎn)量和更低缺陷研磨墊的需求?？蛻魷y試表明，OPTIVISION™ 4540 研磨墊的穩(wěn)定性超過了1000個晶圓片。這些初步結(jié)果明顯表現(xiàn)，這款研磨墊能夠在較長的使用壽命中以極低的擁有成本實現(xiàn)一致的高效表現(xiàn)。”

　　這款研磨墊可與陶氏的 ACuPLANETM 5100 系列研磨液一起使用，以實現(xiàn)更高性能。OPTIVISION™ 4540 研磨墊擁有多種尺寸和配置，包括最新的視窗選項，可用于目前的和先進的技術(shù)節(jié)點和平臺。陶氏目前已進行 OPTIVISION™ 4540 研磨墊的試樣提供，該產(chǎn)品將于今年第四季上市。