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我國多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術(shù)又獲新突破

  • 　　科技部和中國電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)在洛陽中硅高科組織召開驗(yàn)收評(píng)審會(huì)。中硅高科承擔(dān)的國家"十一五"科技支撐計(jì)劃課題大型三氯氫硅合成、提純工藝技術(shù)與關(guān)鍵裝置研究、高效加壓還原爐系統(tǒng)研究、大型低溫加壓四氯化硅氫化技術(shù)與裝置研究三個(gè)課題和參與完成的多晶硅標(biāo)準(zhǔn)、專利體系建設(shè)與研究課題順利通過驗(yàn)收評(píng)審。專家認(rèn)為，這四項(xiàng)科技成果成功解決了規(guī)?；嗑Ч枭a(chǎn)中的瓶頸問題，填補(bǔ)國內(nèi)空白，標(biāo)志著我國多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術(shù)又獲新突破。
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三氯氫硅介紹

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