我國多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術(shù)又獲新突破

　　科技部和中國電子材料行業(yè)協(xié)會在洛陽中硅高科組織召開驗收評審會。中硅高科承擔的國家"十一五"科技支撐計劃課題大型三氯氫硅合成、提純工藝技術(shù)與關(guān)鍵裝置研究、高效加壓還原爐系統(tǒng)研究、大型低溫加壓四氯化硅氫化技術(shù)與裝置研究三個課題和參與完成的多晶硅標準、專利體系建設(shè)與研究課題順利通過驗收評審。專家認為，這四項科技成果成功解決了規(guī)模化多晶硅生產(chǎn)中的瓶頸問題，填補國內(nèi)空白，標志著我國多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術(shù)又獲新突破。