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KLA-TENCOR推出面向光刻設(shè)計檢測方案

  •       KLA-Tencor正式發(fā)布了業(yè)界第一套用于 post-RET(分辨率增強技術(shù))掩膜版設(shè)計版面 (reticle design layout)檢測的完整芯片光刻制程工藝窗口(lithography process window)(允許誤差空間)檢測系統(tǒng)。DesignScan 能使芯片生產(chǎn)商減少掩膜版的設(shè)計修正次數(shù),獲得高成品率的設(shè)計,以實現(xiàn)更好的參數(shù)化設(shè)計性能和快速的上市時間
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光刻設(shè)計介紹

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