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耗時超四年迎曙光 國產光刻膠再迎重大進展

  • 繼中芯國際續(xù)單ASML光刻機后，國產半導體光刻膠領域再迎喜訊。周一（8日）盤后，上海新陽公告稱，經各方積極協(xié)商、運作，ASML-1400光刻機設備于今日已進入合作方北方集成電路技術創(chuàng)新中心（北京）有限公司場地，后續(xù)將進行安裝調試等相關工作。公司采購的ASML干法光刻機設備順利交付，對加快193nm ArF干法光刻膠產品開發(fā)進度有積極影響。值得一提的是，天眼查顯示，合作方北方集成電路技術創(chuàng)新中心（北京）有限公司大股東為芯鏈融創(chuàng)集成電路產業(yè)發(fā)展（北京）有限公司，后者由北京凱世通半導體有限公司在內的26個國內半
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國產光刻膠介紹

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