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柔性膜式微型電磁驅(qū)動器的設(shè)計與仿真分析

• 　　0引言 　　微驅(qū)動器作為微機電系統(tǒng)(MEMS)的驅(qū)動部件，已得到廣泛研究。近年來，采用硬磁和軟磁材料構(gòu)成的驅(qū)動器在微機電系統(tǒng)和微光機電系統(tǒng)中受到了越來越多的關(guān)注，這主要由于電磁驅(qū)動方式能夠在較大的范圍內(nèi)提供足夠的驅(qū)動力，并且能夠進(jìn)行遠(yuǎn)程驅(qū)動控制，響應(yīng)速度快。尤其是硬磁材料在被充磁后可以用于制作雙向驅(qū)動器，采用一個永磁體和電磁線圈構(gòu)成的電磁鐵即可構(gòu)成雙向的微型電磁驅(qū)動器，這可簡化微驅(qū)動器的結(jié)構(gòu)，充分利用微驅(qū)動器中的有限空間。通過改變電磁線圈驅(qū)動電流方向在兩個磁體之間產(chǎn)生的吸引力和排斥力，可作為雙向微驅(qū)
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