濺射靶材文章進(jìn)入濺射靶材技術(shù)社區(qū)

歐萊半導(dǎo)體集成電路高純?yōu)R射靶材項(xiàng)目正式啟動(dòng)

　　日前，中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)對(duì)中色(寧夏)東方集團(tuán)有限公司完成的極大規(guī)模集成電路300mm硅片工藝用濺射靶材研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目進(jìn)行了鑒定，該項(xiàng)目整體技術(shù)已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，打破了發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)集成電路用高端靶材的壟斷。　　據(jù)了解，濺射靶材是生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片最重要的原料之一。目前全球只有日本和美國(guó)具備生產(chǎn)先進(jìn)半導(dǎo)體用濺射靶材的能力。中色(寧夏)東方集團(tuán)和其他6家單位共同實(shí)施的這一項(xiàng)目形成了具有我國(guó)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的集成技術(shù)并實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，產(chǎn)品通過(guò)了終端客戶認(rèn)證。該項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)年銷售收入在20億元以上。
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