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Crossing Automation公司的Spartan EFEM被頂尖半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)商作為第二代測(cè)量工具

  • 　　Crossing Automation公司(www.crossinginc.com)今天宣布，其開(kāi)發(fā)的SpartanTM設(shè)備前端模塊(EFEM)已被一家頂尖的光刻與測(cè)量設(shè)備產(chǎn)商選擇作為第二代測(cè)量工具。Crossing是一家向大規(guī)模半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)商提供高效且能有效降低成本的前端與后端工藝自動(dòng)化解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商。 　　Spartan EFEM之所以被選中，是因?yàn)橐环矫鍯rossing能對(duì)其進(jìn)行個(gè)性化設(shè)計(jì)來(lái)滿(mǎn)足客戶(hù)的特定需求，另一方面它的測(cè)試平臺(tái)容易實(shí)現(xiàn)軟件集成。此外，Crossing還能提供Expre
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