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產(chǎn)綜研聯(lián)合東京大學(xué)研制出采用強(qiáng)電介質(zhì)NAND閃存單元
- 日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所(產(chǎn)綜研)與東京大學(xué),聯(lián)合研制出了采用強(qiáng)電介質(zhì)柵極電場(chǎng)效應(yīng)晶體管(Ferroelectric gate field-effect transistor:FeFET)的NAND閃存存儲(chǔ)單元??刹翆?億次以上,寫入電壓為6V以下。而此前的NAND閃存存儲(chǔ)單元只能擦寫1萬次,且寫入電壓為20V。以往的NAND閃存只能微細(xì)化到30nm左右,而此次的存儲(chǔ)單元技術(shù)還可以支持將來的20nm和10nm工藝技術(shù)。 此次,通過調(diào)整p型Si底板溝道中所注入雜質(zhì)的條件,使NAND
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