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Gigaphoton發(fā)布新的DUV光源產(chǎn)品規(guī)劃圖

  • 　　半導(dǎo)體光刻光源的主要供應(yīng)商Gigaphoton株式會社(母公司：栃木縣小山市，董事長：浦中克己)宣布，為提高設(shè)備的工作效率，公司將制定新的產(chǎn)品規(guī)劃圖，以應(yīng)對需求量不斷高漲的半導(dǎo)體廠家的要求。 　　Gigaphoton此次制定的產(chǎn)品規(guī)劃圖“RAM Enhancement”加強(qiáng)了DUV光源受激準(zhǔn)分子激光器的可靠性(Reliability)、可用性(Availability)以及可維護(hù)性(Maintainability)。公司已經(jīng)開始行動，將在2020年前打破被業(yè)界定位為極限的&l
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Gigaphoton將LPP EUV光源輸出端最大等效功率提升至20W級別

  • 　　Gigaphoton公司18日宣布已經(jīng)成功將LPP EUV光源產(chǎn)品的輸出端等效最大功率推進(jìn)到了20W水平。該公司達(dá)成這個目標(biāo)所使用的方法是，使用固態(tài)預(yù)脈沖激光器，100khz頻率的CO2激光來轟擊錫靶標(biāo)。采用這種方法，該公司在光源運(yùn)行過程中達(dá)成了平均 10W水平的輸出功率。由于目前普遍認(rèn)可的預(yù)生產(chǎn)型商用EUV光源輸出功率級別正好在10W左右，因此Gigaphoton公司此次的成果標(biāo)志著預(yù)生產(chǎn)極 EUV光源發(fā)展過程中的一個新里程碑。 　　 ? ? 　　Gigaphoton公司
  • 關(guān)鍵字： Gigaphoton  EUV光源  

EUV光源廠商散伙

  • 　　日本的Komatsu和Ushio稍早前宣布，已終止有關(guān)光源合資企業(yè)Gigaphoton的合作協(xié)議。Komatsu將從Ushio手中買下50%股權(quán)。未來Gigaphoton將成為Komatsu的全資子公司。而此舉會為EUV的未來投下何種變數(shù)仍有待觀察。 　　
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