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用可編程模擬電路實現MEMS陀螺儀測量系統

MEMS運動傳感器有助于提高手持設備的可靠性

正確選擇汽車胎壓監(jiān)測系統使用的各種MEMS傳感器

用RF-MEMS實現可調諧天線

利用MEMS麥克風改善移動設備聲學性能

MEMS技術的發(fā)展歷史

  • MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀70年代末80年代初，當時用大型蝕刻硅片結構和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動膜在壓力下變形，會影響其表面的壓敏電阻走線，這種變化可以把壓力轉換成電信號。后來的電路則
  • 關鍵字： 發(fā)展歷史  技術  MEMS  

基于ARM與MEMS器件的微慣性測量裝置設計

  • 　　在仿生推進機理的研究中，精確測量魚類尾鰭拍動參數對于魚類仿生推進機理研究及工程應用具有重要的意義;然而，目前研究者大多采用分析高速攝像機拍攝的圖像獲得參數的觀測方法。這種方法受到環(huán)境與設備的限制，結果精確度較差。本設計是一種基于MEMS器件的生物運動微慣性測量裝置。利用該裝置實現了對SPC-III機器魚尾鰭拍動參數的精確測量，為國內首次利用MEMS器件進行的活體魚尾鰭拍動參數測量實驗打下了基礎，為機器魚仿生推進設計理論提供支撐。 　　1 設計要求和系統結構 　　根據活體魚類的生物特征和實驗本身的特
  • 關鍵字： ARM MEMS   

射頻工藝和手機射頻元件的集成策略

閃耀光柵數字微鏡的結構設計與驅動仿真

  • 　　基于MEMS的閃耀光柵數字微鏡顯示技術是一種全新的顯示技術, 它的基本工作原理為：平行的復合白色光線以固定的入射角照射在閃耀光柵微鏡陣列上，驅動電路驅動每個像素單元的閃耀光柵微鏡偏轉不同角度，在特定的衍射方向上得到的R、G、B以及不可見波長的光線經過成像鏡頭后形成彩色畫面。 　　微鏡結構設計的基本要求 　　閃耀光柵數字微鏡顯示技術的核心部件是閃耀光柵數字微鏡。要達到便攜應用和投影應用的目的，閃耀光柵數字微鏡結構設計需滿足以下基本要求。 　　盡可能減小顯示單元的尺寸 　　為了得到準確的基色，要求
  • 關鍵字： MEMS  閃耀光柵數字微鏡  結構  驅動  

單電容式及差分電容式MEMS傳感器檢測系統

  • 摘要：傳感器技術是信息社會的四大支柱之一，傳感器和計算機結合形成的智能系統大大的拓展了人類生活的空間。在傳感器家族中，根據電容的物理特性制作的傳感器占有重要地位。電容傳感器是很好的狀態(tài)傳感器，可提高電容檢測，尤其是微小電容檢測的精度，是目前測控技術的熱點。本文重點介紹一套微小電容差分高精度檢測電路，該套電路可測物體的運動加速度，加速度計的分辨率可達2-18。 關鍵詞：電容式傳感器；MEMS；信號調理；檢測電路 電容式傳感器工作原理 ?　　電容式傳感器分單電容式和差分電容式二種。如圖
  • 關鍵字： 單電容式  差分電容式  MEMS  傳感器  200803  

MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制

  • 　　1 引言 　　大氣壓力傳感器在工業(yè)生產、氣象預報、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。傳統的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術不僅可以解決上述缺點，還能極大地降低成本，而性能更為優(yōu)異。如今基于MEMS技術得到廣泛應用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類，壓阻式壓力傳感器的線性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結構更具魯棒性，但線性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
  • 關鍵字： MEMS  

MEMS固態(tài)風速風向傳感器的設計與制作

  • 　　1 引言 　　風速及風向的測量是氣象觀測中重要的一環(huán)。風速風向可以基于流體力學原理、熱學原理、聲學原理和仿生學原理來測量。熱式測風儀基于風對熱體的對流作用來測量風速和風向，其存在一個精密的熱源，通過把兩對相對的熱源與熱電偶正交放置測量風向。超聲測風儀可以同時進行超聲波的發(fā)射和接收，基于多普勒效應測量風速，用三個或者四個探頭根據三角關系測量風向信息?；贛EMS技術傳感器有體積小、重量輕及成本低的特點，基于MEMS技術的風速和風向測量傳感器受到了研究者的重視。 　　本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風速風
  • 關鍵字： MEMS  

MEMS傳感器進駐汽車發(fā)動機

  • 　　近年來，從半導體集成電路(IC)技術發(fā)展而來的MEMS (微電子機械系統)技術日漸成熟。利用這一技術可以制作各種性能敏感的力學量、磁學量、熱學量、化學量和微生物的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實現許多全新的功能，便于大批量和高精度生產，單件成本低，易構成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點使得它們非常適合于汽車方面的應用。 MEMS將成為汽車傳感器的主流技術 　　20世紀80年代微型加速度傳感器開始用于汽車安全氣囊，它們是到目前為止大量生產的、并在汽車中得到廣泛應用的微型傳感器。然而微型傳感器的
  • 關鍵字： MEMS 傳感器  

MEMS機油壓力傳感器可靠性研究

  • 1 引言 　　MEMS是在集成電路生產技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發(fā)展起來的高新技術，用MEMS技術研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應快、靈敏度高、易于批量生產、成本低的優(yōu)勢，它們已經開始逐步取代基于傳統機電技術的壓力傳感器。目前已有多種MEMS壓力傳感器應用到了汽車電子系統中，如發(fā)動機共軌壓力、機油壓力、歧管空氣進氣壓力、汽車胎壓壓力等。其中機油壓力傳感器是用于測量汽車發(fā)動機油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關系到汽車和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開發(fā)出汽車發(fā)動機機油壓力傳
  • 關鍵字： MEMS 傳感器  

汽車MEMS傳感器應用及發(fā)展

  • 摘要：本文通過大量的文獻資料，評述汽車MEMS（微機電系統）傳感器的應用現狀及發(fā)展趨勢，其中重點介紹幾種傳感器的原理和結構，同時對該領域的產業(yè)化也進行了探討。 關鍵詞：汽車傳感器、微機電系統、力敏器件。 一、引言 　　MEMS是在集成電路生產技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發(fā)展起來的高新科技，其研究開發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統三個方面，目前主導MEMS市場的傳感器已形成產業(yè)。用此技術研制的五花八門的微傳感器具有體積小、質量輕、響應快、靈敏度高、易生產、成本低的優(yōu)勢，可以測量各種物理
  • 關鍵字： MEMS 傳感器  
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