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用于高速旋轉(zhuǎn)MEMS微引擎動(dòng)態(tài)特性研究的光學(xué)測(cè)量技術(shù)進(jìn)展

摘要開發(fā)能以每分鐘100萬轉(zhuǎn)高速旋轉(zhuǎn)、用于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的微引擎已成為當(dāng)今微機(jī)械學(xué)中最具挑戰(zhàn)性的課題...
關(guān)鍵字： MEMS 微引擎光學(xué)測(cè)量

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