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硅基科技：用世界領(lǐng)先技術(shù)開(kāi)拓一片“藍(lán)海”

　　6月18日，記者從沈陽(yáng)硅基科技有限公司(下稱硅基科技)獲悉：該企業(yè)制造的SOI晶圓，經(jīng)過(guò)全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體跨國(guó)公司美國(guó)德州儀器公司測(cè)試，結(jié)果顯示所有指標(biāo)均達(dá)到客戶需求，良品率高達(dá)98.3%以上。在此之前，硅基公司的這種產(chǎn)品也通過(guò)了中國(guó)最大半導(dǎo)體制造商中芯國(guó)際的相關(guān)測(cè)試。中美兩大客戶認(rèn)可，標(biāo)志著我市自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的SOI產(chǎn)品可以進(jìn)入量產(chǎn)階段。　　硅片作為最重要、最常用的半導(dǎo)體材料，是芯片生產(chǎn)過(guò)程中必不可少的、成本占比最高的材料。因材料關(guān)鍵，一直被發(fā)達(dá)國(guó)家壟斷并對(duì)我國(guó)封鎖。SOI晶圓(即絕緣層上硅)是一種
關(guān)鍵字：硅基科技晶圓

　　據(jù)了解，MEMS、納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場(chǎng)領(lǐng)先的晶圓鍵合和光刻設(shè)備供應(yīng)商EVGroup(EVG)在SEMICONChina2011展會(huì)期間宣布，公司新客戶沈陽(yáng)硅基科技有限公司訂購(gòu)了一臺(tái)EVG850LT自動(dòng)鍵合系統(tǒng)用于SOI晶圓制造。這家中美合資公司將采用EVG850LT來(lái)實(shí)現(xiàn)SOI晶圓的大規(guī)模量產(chǎn)，該設(shè)備已在2010年9月出貨。
關(guān)鍵字：硅基科技晶圓制造

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