AMAT的故事(2)--ALD魔咒
發(fā)布人：金捷幡
時(shí)間：2022-06-11
來(lái)源：工程師
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半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)袖應(yīng)用材料公司(AMAT)在收購(gòu)東京電子(TEL)失敗后，并沒(méi)有氣餒。不斷擴(kuò)張版圖彌補(bǔ)短板，仍是AMAT的重要目標(biāo)。
下一個(gè)獵物，是Kokusai Electric(KE)。
Kokusai在日語(yǔ)是“國(guó)際”的意思，“國(guó)際電信”是日本侵華時(shí)期成立的官方無(wú)線電設(shè)備公司，它在2000年和日立電子合并成日立國(guó)際電氣(Hitachi Kokusai Electric)。
在主搞廣播通信的日立國(guó)際里，有個(gè)很詭異的部門(mén)，專(zhuān)做半導(dǎo)體薄膜。
這個(gè)部門(mén)的LPCVD(tube CVD)和氧化/擴(kuò)散業(yè)務(wù)非常強(qiáng)，而AMAT在相關(guān)領(lǐng)域非常弱雞，拿下日立這個(gè)部門(mén)，將如虎添翼。
但這個(gè)事怎么操作呢？日立沒(méi)說(shuō)很想賣(mài)呀。
這就需要私募來(lái)縫合了。
二、KKR勇斗艾略特
2017年初，KKR不斷購(gòu)入日立國(guó)際的股****，然后在4月份和日立達(dá)成協(xié)議，分拆薄膜部門(mén)22億美元單獨(dú)拿下，這就是后來(lái)的KE。
沒(méi)想到，美國(guó)另一家激進(jìn)對(duì)沖基金巨頭艾略特的刀也拔了出來(lái)。
艾略特(Elliott)雖然規(guī)模小一些，但是其著名的歌者老板(Paul Singer)玩狠的聲名超過(guò)了KKR。艾略特一度持股接近9%，迫使KKR把收購(gòu)價(jià)從22億提高到30億。
雖然沒(méi)有確切證據(jù)說(shuō)明AMAT站在KKR背后，但KKR能堅(jiān)持高價(jià)完成收購(gòu)，然后僅一年就以35億美元轉(zhuǎn)手KE給AMAT，說(shuō)兩者沒(méi)關(guān)系我是不信的。
愛(ài)爾蘭、日本和韓國(guó)迅速就批準(zhǔn)了AMAT這項(xiàng)并購(gòu)。但AMAT等了兩年，也沒(méi)等到最后一個(gè)批準(zhǔn)：
中國(guó)沒(méi)同意。
三、AMAT的隱含損失
適逢2019年特朗普對(duì)華為的打擊，使得中國(guó)對(duì)美系廠商的并購(gòu)特別謹(jǐn)慎。國(guó)內(nèi)相對(duì)比較優(yōu)秀的設(shè)備商如北方華創(chuàng)、沈陽(yáng)拓荊等的主攻方向也是做薄膜(沉積和爐管等)，和KE重合度還是挺高的。
直到2021年3月底訂婚合約到期，我國(guó)官方也沒(méi)答復(fù)，AMAT只得宣布并購(gòu)失敗。
AMAT通過(guò)拿下KE反攻內(nèi)存設(shè)備市場(chǎng)的目標(biāo)再次受挫。另外一個(gè)隱含的損失，則是本文的標(biāo)題：
原子層沉積(ALD)。
ALD是在表面鋪一層薄薄原子的技術(shù)，對(duì)比傳統(tǒng)的CVD、濺射、蒸鍍等技術(shù)，薄膜厚度極其均勻而且缺陷小，其應(yīng)用則越來(lái)越廣泛。
四、痛苦煎熬的ASM
在《ASM和電子束光刻》一文中提到過(guò)，ALD是ASM International閃耀歸來(lái)的關(guān)鍵。
我也說(shuō)到2009年英特爾才給了ASM救命錢(qián)，到2013年ALD大量出貨使得ASM的前端業(yè)務(wù)(WFE)才恢復(fù)了盈利。
那么，在半導(dǎo)體行業(yè)引入新技術(shù)的痛苦陣痛階段，ASM曾如何自救呢？
在2007年和2008年，ASM把自己珍貴的ALD技術(shù)授權(quán)給了KE和TEL，授權(quán)期長(zhǎng)達(dá)10年。
這有點(diǎn)像引狼入室。但一方面那些授權(quán)費(fèi)幫ASM熬到了2009年，另外一方面ASM也需要日本巨頭共同幫助ALD配套成熟推向市場(chǎng)。DRAM廠商比英特爾更早引入ALD，如果沒(méi)有它們吃螃蟹，英特爾的High-K可能會(huì)進(jìn)一步延遲。
五、ASM的代價(jià)
ASM目前2/3的營(yíng)業(yè)額來(lái)自ALD，其市場(chǎng)需求仍在快速增長(zhǎng)中，ASM的ALD遙遙領(lǐng)先占其中約一半的份額。
畢竟ALD總TAM相對(duì)還是有限，所以守住ALD是ASM的底線。
ALD設(shè)備可粗分成兩大類(lèi)：?jiǎn)纹A處理和多片晶圓處理。前者多用于高端邏輯芯片，對(duì)精度控制極高；后者多用于內(nèi)存芯片(DRAM和NAND)。
先進(jìn)制程中的單片ALD設(shè)備，ASM占絕對(duì)領(lǐng)導(dǎo)地位。而對(duì)于多片批處理ALD，TEL和KE則優(yōu)勢(shì)明顯，日系A(chǔ)LD一次能處理100片晶圓甚至更多。
三星的內(nèi)存產(chǎn)線曾經(jīng)滿(mǎn)滿(mǎn)的全是KE的ALD，但在日韓貿(mào)易戰(zhàn)后，開(kāi)始扶植本土的Eugene。Hynix同樣全力扶植韓系的Jusung和Wonik IPS。
不能不聯(lián)想的是，韓系設(shè)備商的技術(shù)淵源，會(huì)和日本不無(wú)關(guān)系。
那么在四面圍攻下，ASM的ALD剩下的王牌是什么呢？
六、ASM的專(zhuān)利
有人突然想到：對(duì)啊，2017年ASM對(duì)KE的十年技術(shù)授權(quán)不是到期了么。
確實(shí)，在2017年ASM立馬對(duì)KE發(fā)起技術(shù)侵權(quán)的仲裁申請(qǐng)，兩年后KE(KKR)支付1.15億美元和解。
在KE的官網(wǎng)上，你甚至看不到ALD這三個(gè)字，只能看見(jiàn)多片“批處理設(shè)備”。這也許是對(duì)ASM權(quán)威的尊重，也許這是和解的一部分吧。
下兩圖顯示了ASM在ALD專(zhuān)利組合強(qiáng)度上仍遙遙領(lǐng)先。
(Chart Credit: LexisNexis)七、抵抗AMAT的入侵
我們?cè)谇拔睦锾岬剑珹MAT的關(guān)聯(lián)私募Mellon/Fursa曾在次貸危機(jī)期間試圖入主ASM，自己也親自下場(chǎng)，不得不感嘆AMAT對(duì)ALD的前瞻判斷。
小del Prado(Chuck同志)在2007年臨危受命，在公司最艱難的情況下，抵御了一波又一波頑強(qiáng)攻擊。對(duì)方不斷潑臟水和購(gòu)買(mǎi)股****試圖入主董事會(huì)罷免他，法院判他敗訴他仍咬牙堅(jiān)持，直到n年后精疲力竭打到最高法院。
在公司不斷失血的過(guò)程中，ASM WFE揮淚裁員1/4以及拆公司和賣(mài)技術(shù)授權(quán)，如果不是對(duì)自家企業(yè)的愛(ài)和堅(jiān)定信念，一般人肯定扛不住這種壓力一賣(mài)了之。
老del Prado不服輸?shù)难毫魈试趦鹤拥难芾??？喟?年后，ASM的ALD羽翼漸豐隨即展翅高飛。從Chuck接棒公司到今天的ASM International股價(jià)翻了100倍，其百億歐元的市值已經(jīng)不再是AMAT可以輕易搞定的了。
ALD就像個(gè)魔法項(xiàng)鏈。財(cái)大氣粗的AMAT反復(fù)追求戴著這個(gè)項(xiàng)鏈的各位氣質(zhì)美女(ASM、TEL和KE)，聘禮都下了好多次，就是娶不進(jìn)家門(mén)。
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