Veeco發(fā)表用于生產高亮度 LED的MaxBright GaN MOCVD
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日前，Veeco發(fā)表一款新型MOCVD產品：TurboDisc MaxBright?氮化鎵(GaN)有機金屬化學氣相沉積法(MOCVD)多反應器系統(tǒng)，用于生產高亮度 LED。
本文引用地址：http://butianyuan.cn/article/116695.htmVeeco介紹，MaxBright利用Veeco的FlowFlange ?集群架構自動化技術在一個模塊化的兩個或四個反應器通過組合高通量金屬有機化學氣相沉積反應器。
該MaxBright反應堆，在K465i的基礎上經過生產驗證，既擴大了晶圓的生產能力和，同時保證了均勻性、重復性和材料的質量。MaxBright MOCVD系統(tǒng)可提供生產能力達216 × 2”，56 × 4”，24 × 6”或12 × 8”晶圓。此外，無縫轉移MaxBright能使客戶實現(xiàn)快速生產。
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