MEMS傳感器的主要優(yōu)點(diǎn)

a.可提高信噪比。在同一個(gè)芯片上進(jìn)行信號(hào)傳輸前可放大信號(hào)以提高信號(hào)水平，減小干擾和傳輸?shù)脑肼?，特別是同一芯片上進(jìn)行A/D轉(zhuǎn)換時(shí)，更能改善信噪比。

b.可改善傳感器悸性能。因這種傳感器集成了敏感元件、放大電路和補(bǔ)償電路(如微型壓力傳感器)在同一芯片上在實(shí)現(xiàn)傳感探測的同時(shí)具有信號(hào)處理的功能(在同一芯片上的反饋電路可改善輸出鉭電容的線性度和頻響特性)：因?yàn)榧闪搜a(bǔ)償電路，可降低由溫度或由應(yīng)變等因素引起的誤差;在同一芯片上的電壓式電流源可提供自動(dòng)的或周期性的自校準(zhǔn)和自診斷。

c.輸出信號(hào)的調(diào)節(jié)功能。集成在芯片上的電路可以在信號(hào)傳輸前預(yù)先完成A/D轉(zhuǎn)換、阻抗匹配、輸出信號(hào)格式化以及信號(hào)平均等信號(hào)調(diào)節(jié)和處理工作。

d.MEMS傳感器還可以把多個(gè)相同的敏感元件集成在同一芯片上形成傳感器陣列(如微型觸覺傳感器);或把不同的敏感元件集成在同一芯片上實(shí)現(xiàn)多功能傳感(如微型氣敏傳感器)。c%ddze.由于MEMS傳感器體積微小，重量極輕，因此其附貼片鉭電容加質(zhì)量等因素對(duì)被測系統(tǒng)的影響可以忽略不計(jì)，可提高測量精度。