用于氣體檢測的聲表面波振蕩電路設(shè)計

1 引 言

近年來， 聲表面波氣體傳感器發(fā)展迅速， 應(yīng)用于多個領(lǐng)域， 具有良好的發(fā)展前景。由于SAW 傳感器具有尺寸小、價格低、精度高、靈敏度高及分辨率高等優(yōu)點， 因此產(chǎn)生了由聲表面波器件、敏感薄膜和相關(guān)檢測電路組成的SAW 氣體傳感器。敏感薄膜在吸附氣體的過程中， 被測氣體導(dǎo)致的應(yīng)力作用于聲表面波傳輸路徑中的介質(zhì)， 使其動力學(xué)特性發(fā)生改變， 進而改變聲表面波器件的諧振頻率。與之配套的檢測電路測試出這個改變量， 從而得到待測氣體的相關(guān)特性， 而檢測電路的相關(guān)性能直接影響整個傳感器的精度和準(zhǔn)確度等技術(shù)指標(biāo)。因此， 電路的設(shè)計在SAW 氣體傳感器中是一個至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。

聲表面波( SAW )振蕩器利用聲表面波諧振器或延遲線作為穩(wěn)頻元件而構(gòu)成。聲表面波器件通常采用性能穩(wěn)定的單晶石英材料制作， 輸出的頻率非常穩(wěn)定。聲表面波振蕩器基頻工作頻率高， 使用范圍可高至2000MH z， 與傳統(tǒng)的采用較低頻率的體聲波振蕩器不同， 具有重量輕、體積小、功耗小、成本低、可靠性增加等優(yōu)點。

聲表面波振蕩器作為聲表面波傳感器的敏感元件， 其頻率穩(wěn)定度直接影響著傳感器的分辨率、穩(wěn)定性和測試精度， 其振蕩頻率取決于反饋回路相位為零時的條件。因此聲表面波振蕩器頻率穩(wěn)定度的提高有助于進一步改進傳感器的性能指標(biāo)。

2 聲表面波諧振器

聲表面波( SAW )器件是一種采用叉指結(jié)構(gòu)的頻率選擇性很好的器件， 通過精確設(shè)計兩邊的叉指換能器的叉指對數(shù)及間距后， 再通過蒸發(fā)光刻等工藝制成。聲表面波諧振器( SAWR ) 是一種高Q 值的諧振器， 在很多方面都與石英晶體諧振器相似。

與聲表面波延遲線( SAWDL)振蕩器相比， 雙端諧振器的傳輸特性類似于高Q 值延遲線的特性， 但它有以下幾個顯著特點: 一是諧振器的尺寸很小; 二是諧振器的插損要小得多; 三是諧振器的調(diào)頻范圍比延遲線窄， 但是調(diào)頻范圍增加的同時穩(wěn)定度會降低。

對于基于諧振型SAW 器件的傳感器來說， 基線頻率穩(wěn)定度是最重要的技術(shù)指標(biāo)之一。對于聲表面波氣體傳感器， 聲表器件上需加敏感膜， 這樣會增加器件的插損， 過大的插損會降低穩(wěn)定度， 因此SAW器件本身的插損不能大。

聲表面波諧振器也可以根據(jù)叉指換能器的對數(shù)分為單端諧振器和雙端諧振器兩種。這兩種類型的諧振器各有特點， 單端聲表面波諧振器振蕩電路簡單， 元器件少， 頻率穩(wěn)定度好， 相位噪聲低， 可實現(xiàn)低電壓、低功耗， 但是其波段覆蓋系數(shù)小， 當(dāng)超出它的這個范圍時將會導(dǎo)致不起振。雙端聲表面波諧振器的優(yōu)點是容易起振， 如果相移網(wǎng)絡(luò)選擇合適， 可以在很大范圍內(nèi)實現(xiàn)頻率調(diào)節(jié)， 其缺點是這種電路較為復(fù)雜， 成本較高。

3 振蕩電路的設(shè)計

本設(shè)計是基于雙端聲表面波諧振器進行的電路設(shè)計， 為了使電路既能容易滿足振蕩條件， 又能達到良好的性能， 采用閉環(huán)正反饋放大的振蕩電路形式，它包括一個放大電路和一個反饋回路， 電路原理框圖如圖1所示。本次設(shè)計采用的聲表面波器件型號為RP1308， 中心頻率為433. 92MH z， 180 相移的雙端諧振型器件。

圖1 振蕩電路示意圖

該電路在諧振點形成單模振蕩的條件與其他類型的諧振式傳感器類似， 其條件如下: