電容式邊緣傳感器的設(shè)計(jì)
實(shí)驗(yàn)采用如圖9所示的V1信號(hào)經(jīng)過(guò)功率調(diào)整的電壓信號(hào)作為比較信號(hào),圖10對(duì)應(yīng)C1=C2輸出信號(hào)濾波前后波形,圖11,圖12分別對(duì)應(yīng)C1> C2,C1C2時(shí)的比較信號(hào)和輸出信號(hào)波形。輸出信號(hào)和比較信號(hào)通過(guò)相位檢測(cè)電路的輸出結(jié)果如表1所示,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明微動(dòng)臺(tái)兩平板初始間隙為5μm,該電路能夠檢測(cè)到小于5 nm的平行度。本文引用地址:http://butianyuan.cn/article/162235.htm
4 結(jié)語(yǔ)
作為納米級(jí)的電容式邊緣傳感器,可以廣泛應(yīng)用于精密控制領(lǐng)域。在天文上。能夠檢測(cè)到5nm的平行度的傳感器,可以應(yīng)用于光學(xué)鏡面調(diào)整,目前法珀和拼接鏡面技術(shù)應(yīng)用越來(lái)越廣泛,電容式邊緣傳感器因其體積小、成本低、溫度穩(wěn)定性好等諸多優(yōu)點(diǎn),在法珀和拼接鏡面技術(shù)發(fā)展中的地位不容小覷。電容式邊緣傳感器技術(shù)在國(guó)內(nèi)發(fā)展仍不成熟,提高該傳感器電路性能,減少噪聲等誤差源的影響,實(shí)現(xiàn)大行程,高精度的測(cè)量是我們下一步繼續(xù)努力的目標(biāo)。
評(píng)論