利用濕式蝕刻工藝提高LED光萃取效率之產(chǎn)能與良率的方法

VI.化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)：化學(xué)液之補(bǔ)充體積的精確度要高。

VII.外延片自動(dòng)傳送系統(tǒng)：外延片傳送可保證連續(xù)順利傳送達(dá)400 Runs,以確保制造上之良率。

圖12、弘塑科技設(shè)計(jì)制作之高溫磷酸濕式蝕刻自動(dòng)化量產(chǎn)設(shè)備。

結(jié)論

本文已針對(duì)藍(lán)寶石基板之高溫磷酸濕式蝕刻工藝，以及其工藝設(shè)備在設(shè)計(jì)制作上必須考慮哪些因素，進(jìn)行詳細(xì)探討。由于LED之藍(lán)寶石基板化學(xué)濕式蝕刻工藝，可藉由基板表面幾何圖形之變化，來(lái)改變LED的散射機(jī)制，或?qū)⑸⑸涔鈱?dǎo)引至LED內(nèi)部，進(jìn)而由逃逸角錐中穿出，所以成為增加LED光萃取效率的有效技術(shù)。目前LED業(yè)界特別考慮到如何降低成本與增進(jìn)產(chǎn)能，并且又要合乎環(huán)保與工業(yè)安全等需求，可以預(yù)見(jiàn)地具備操作自動(dòng)化與工藝標(biāo)準(zhǔn)化之系統(tǒng)設(shè)備，將成為未來(lái)LED生產(chǎn)線量產(chǎn)之競(jìng)爭(zhēng)主力。