2602新型測試儀器的多個測試系統(tǒng)類型
并行I-V測試[2]系統(tǒng)――適用于復(fù)雜器件的多個DUT測試或多通道測試的系統(tǒng)。對此類DUT的測試,速度取決于儀器、應(yīng)用程序以及在施加激勵源后DUT達(dá)到穩(wěn)定響應(yīng)時所需的時間(過早的測量將產(chǎn)生錯誤結(jié)果)。在現(xiàn)有的并行測試系統(tǒng)設(shè)計中碰到的限制包括順序多通道源[3]-測量設(shè)計而不是同步的多通道源-測量、有限的電壓或電流量程、靈活性不夠、體積龐大以及高成本等(因為這些系統(tǒng)可能過度重視從基礎(chǔ)設(shè)計開始、儀表的靈敏度、或較高程度地為用戶定制設(shè)計)。
可隨意組合的多通道系統(tǒng)[4]――不同于其它兩種結(jié)構(gòu),它通常包括多種儀器來測試復(fù)雜的器件。兩種最常見的可隨意組合的多通道系統(tǒng)為(a)集成的功能測試機臺和(b)采用開放式API(應(yīng)用程序接口)架構(gòu)儀器構(gòu)建的I-V測試系統(tǒng)。
開放式API接口是指采用模塊化結(jié)構(gòu)的儀器產(chǎn)品,非常方便構(gòu)建定制的測試系統(tǒng)方案;與半導(dǎo)體參數(shù)測試機臺不同,它是一個完全預(yù)先裝配好的完整系統(tǒng)。在這兩種結(jié)構(gòu)中,SMU通常都是核心部件,當(dāng)然也可能包含其他設(shè)備,如信號發(fā)生器、示波器、頻譜分析儀[5]、程控開關(guān)等。
當(dāng)SMU作為參數(shù)測試機臺或其它成套測試系統(tǒng)的內(nèi)部模塊時,一般將寬帶儀器作為外部添加設(shè)備。不管是哪種情況,最理想的是實現(xiàn)儀器的無縫集成,以獲得多通道高速I-V測試解決方案。成套測試系統(tǒng)(交鑰匙工程)的優(yōu)勢在于,已經(jīng)為用戶進(jìn)行了許多的軟硬件集成,且仍能提供一定程度的靈活性;其缺點是成本相對較高。相反,開放式API系統(tǒng)可獲得高度的靈活性,并且成本會更加低廉,當(dāng)然這與具體的應(yīng)用和儀器特性直接相關(guān)。
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