臺(tái)積電釋放十大信號(hào)，對(duì)EDA、IP、IC設(shè)計(jì)和半導(dǎo)體設(shè)備商將產(chǎn)生怎樣的影響？

　　(6)N7和N7+的狀態(tài)

　　從N7節(jié)點(diǎn)的生產(chǎn)到N7+(4層EUV)產(chǎn)品的過(guò)渡正在有序進(jìn)行。N7+的所有EDA參考流程已經(jīng)完全驗(yàn)證通過(guò)，并且PDK迭代到了v1.0。所有基礎(chǔ)IP都通過(guò)了硅驗(yàn)證。IP開發(fā)人員的設(shè)計(jì)套件已經(jīng)就緒，并且可以接受N7+的新流片。

　　與N7相比，N7+實(shí)現(xiàn)了1.18倍的面積優(yōu)勢(shì)，這主要得益于更緊密的金屬間距，以及對(duì)單元之間的“通用多器件邊緣”(CPODE)隔離器件的標(biāo)準(zhǔn)單元模板支持。為了有效利用N7+對(duì)N7的密度增益，需要重新設(shè)計(jì)IP-臺(tái)積電提供布局遷移輔助工具來(lái)協(xié)助這種轉(zhuǎn)變。

　　值得注意的是，單元管腳形狀可以違反最小金屬區(qū)域光刻設(shè)計(jì)規(guī)則，管腳單元區(qū)域“修補(bǔ)”涉及的EDA需求可以被整合到物理實(shí)現(xiàn)流程中，這需要改變電遷移分析規(guī)則，同時(shí)，單元管腳形狀需要和貼片填充的模型一起被提取出來(lái)，用于信號(hào)的EM分析。

　　(5)N5工藝支持

　　臺(tái)積電技術(shù)開發(fā)副總裁CliffHou介紹了N5工藝節(jié)點(diǎn)支持計(jì)劃：

　　PDK迭代到了v0.5，IP設(shè)計(jì)仍在進(jìn)行中;

　　臺(tái)積電基礎(chǔ)IP通過(guò)了硅驗(yàn)證(比如標(biāo)準(zhǔn)單元、SRAM、eFuse);

　　v0.9PDK將于2018年11月推出。

　　N5標(biāo)志著引入“全”EUV工藝(比如14個(gè)掩膜)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)N7的1.86倍面積優(yōu)勢(shì)。

　　讀者應(yīng)該知道向EUV光刻的過(guò)渡面臨不少挑戰(zhàn)，比如光源功率、光源正常運(yùn)行時(shí)間、曝光劑量的統(tǒng)計(jì)學(xué)變化、抗蝕劑靈敏度、掩膜空白缺陷密度和掩膜檢查、薄膜技術(shù)等。不過(guò)有趣的是，從N5資格認(rèn)證計(jì)劃中看不出這些EUV挑戰(zhàn)對(duì)臺(tái)積電時(shí)間表的影響。

　　(4)N5獨(dú)特的EDA支持特性-第1部分：3：2節(jié)距比

　　N5中的metal1(垂直)間距與柵極(垂直)間距的比值為3：2，即3個(gè)metal1(M1)垂直軌道相當(dāng)于2個(gè)柵極間距軌道。

　　此外，M1層需要完整的多重圖案顏色分配，這需要獨(dú)特的單元設(shè)計(jì)，并滿足特殊的單元放置限制和布線要求。正如Synopsys的一位發(fā)言人所指出的那樣，“現(xiàn)在4個(gè)中有1個(gè)是合格的-這個(gè)比例曾經(jīng)是98%。”

　　單元庫(kù)需要包含電等效(EEQ)單元，以支持與整個(gè)間距網(wǎng)格的軌道/顏色/引腳形狀對(duì)齊。

　　一些演示稿給出了一些定制電路設(shè)計(jì)示例，需要增加使用堆疊性的n-高器件和串并聯(lián)的mXn器件。這些器件陣列的布局需要遵守上面提到的間距和顏色分配限制。

　　(3)N5獨(dú)特的EDA支持特性-第2部分：跨行Vt規(guī)則

　　單元庫(kù)一般包含多種變體，邏輯上等同的單元變體可以使用不同的Vt選擇。為了實(shí)現(xiàn)功耗/性能的優(yōu)化，可以更換不同的單元，只需對(duì)行內(nèi)單元間的Vt選擇做出少許限制。

　　N5引入了復(fù)雜的“跨行”Vt規(guī)則，在EDA上體現(xiàn)為：APR工具、功耗/性能優(yōu)化、填充插入和(特別是)ECO流程。

　　由于“上下文敏感”的器件漏電-單元內(nèi)的器件泄露電流取決于臨近單元的Vt類型，跨行Vt規(guī)則需要更加嚴(yán)謹(jǐn)。這意味著特征化流程的重大變化。單元特征化需要利用多個(gè)布局上臨近的單元進(jìn)行精確的泄露建模。泄露“side文件”模型將通過(guò)特征化流程生成，在功耗優(yōu)化階段讀取，以選擇對(duì)應(yīng)于實(shí)際物理布局的特定上下文模型。

　　(2)N5獨(dú)特的設(shè)計(jì)特征-第3部分：P/G設(shè)計(jì)

　　N5節(jié)點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)單元模板電源接地(P/G)網(wǎng)絡(luò)設(shè)計(jì)和之前的節(jié)點(diǎn)又很大不同，它需要更高密度的M1軌(增加30%)，相應(yīng)地也需要更多通孔。

　　需要注意的是，密度更高的M1P/G網(wǎng)絡(luò)也會(huì)影響單元布局，因?yàn)楣苣_形狀會(huì)被P/G網(wǎng)絡(luò)阻擋。

　　此外，為了幫助緩解N5工藝中由于更高電阻率導(dǎo)致的電源分配網(wǎng)絡(luò)動(dòng)態(tài)電壓降(DvD)問(wèn)題，并幫助解決由于更高金屬電流密度引起的功率因數(shù)問(wèn)題，臺(tái)積電推出了一種“超高密度”的金屬-絕緣體-金屬(MIM)電容元件，以改善PDN去耦。插入這些新的MIM帽會(huì)在APR中引入復(fù)雜的布線規(guī)則，并需要新的寄生提取(和LVS)工具功能。

　　(1)N5獨(dú)特的EDA支持特性-第4部分：超低電壓(ULV)延遲建模精度

　　之前，反映統(tǒng)計(jì)過(guò)程變化的單元弧延遲模型會(huì)假定一個(gè)對(duì)稱的高斯分布(眾數(shù)=中位數(shù)=數(shù)學(xué)期望)，應(yīng)用統(tǒng)計(jì)靜態(tài)時(shí)序分析方法來(lái)收斂時(shí)序并確保在“n-sigma”處的穩(wěn)健電路性能。現(xiàn)在，越來(lái)越多的先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)引入了非對(duì)稱延遲分布，特別是當(dāng)VDD供電比設(shè)計(jì)Vt下降地更快時(shí)(因此(VDD-Vt)過(guò)驅(qū))。

　　所以引入了“第二代”單元特征變化格式，以支持分布峰(眾數(shù))兩側(cè)快速和慢速延遲時(shí)的獨(dú)特西格瑪。

　　在N5節(jié)點(diǎn)上，統(tǒng)計(jì)性延遲分布(在低VDD下)甚至更加陡峭，因此需要對(duì)單元延遲變化格式進(jìn)行進(jìn)一步更新，尋找新的特征和自由變化模式模型，以反映分布中的附加時(shí)刻-即數(shù)學(xué)期望、西格瑪和“斜率”。EDASSTA工具需要增強(qiáng)，以支持這種新的庫(kù)模型。

　　額外的器件老化也可能在意外的電路條件下出現(xiàn)。

　　德州儀器在OIP論壇上的演講中指出，設(shè)計(jì)人員需要關(guān)注器件老化機(jī)制(比如HCI/BTI)，以及由此產(chǎn)生的對(duì)電路性能和EM健壯性的影響。這個(gè)演講主要針對(duì)的是基于臺(tái)積電16FFC工藝的汽車器件市場(chǎng)，但是其中描述的新型模型-應(yīng)力-老化模擬流程(具有自加熱加速)也適用于任何基于老化的分析。

　　有一個(gè)評(píng)論引起了我的注意，“選擇和老化相關(guān)的壓力測(cè)試條件可能極具欺騙性。最初，我們主要專注于評(píng)估含有高速開關(guān)活動(dòng)測(cè)試用例的最壞性能路徑。但是，性能最壞和最壞情況下的老化并不等同。由靜態(tài)DC偏置或開關(guān)瞬變導(dǎo)致的器件飽和與熱載流子注入密切相關(guān)。但是，處于靜止亞Vt條件下的器件-特別是在斷電期間-同樣會(huì)受到高應(yīng)力環(huán)境的影響。一個(gè)堆疊器件中的下電器件也可能長(zhǎng)時(shí)間暴露在高Vds下。我們發(fā)現(xiàn)非導(dǎo)電應(yīng)力導(dǎo)致的類HCI老化可能是電路參數(shù)漂移的重要原因。設(shè)計(jì)師需要一定的洞察力識(shí)別這些情況，以建立老化模擬測(cè)試用例，這可能需要和性能模擬測(cè)試分開獨(dú)立開發(fā)?！?/p>

　　這個(gè)建議不錯(cuò)。

　　總結(jié)

　　臺(tái)積電OIP論壇透露的關(guān)鍵信息是N7+和N5工藝節(jié)點(diǎn)的進(jìn)展迅速，而且EUV的引入也不存在太多技術(shù)障礙。N5具有全新的物理和電氣特性，可能會(huì)影響單元設(shè)計(jì)、APR和單元特征化。

　　可靠性和老化流程在所有細(xì)分市場(chǎng)中將變得越來(lái)越重要。

　　臺(tái)積電將繼續(xù)和客戶緊密合作，共同開發(fā)先進(jìn)的封裝技術(shù)。

　　這些進(jìn)展都很迅速，這完全得益于臺(tái)積電OIP和EDA合作伙伴、IP開發(fā)商的合作模式。