MEMS傳感器的發(fā)展概況

趨勢(shì)一：消費(fèi)電子領(lǐng)域的普及將成為MEMS實(shí)現(xiàn)爆發(fā)式增長突破口

慣性傳感器已經(jīng)成為了智能手機(jī)、平板電腦和可穿戴設(shè)備的標(biāo)配，并且其他各種類型的MEMS傳感器在消費(fèi)電子領(lǐng)域的應(yīng)用正在逐步普及。仍在研發(fā)的新產(chǎn)品也都在手機(jī)等消費(fèi)電子領(lǐng)域試水，未來將有更多的MEMS器件進(jìn)駐消費(fèi)電子產(chǎn)品，地磁場傳感器、射頻器件等高端產(chǎn)品也將逐漸擴(kuò)散到中低端產(chǎn)品中去。

趨勢(shì)二：多傳感集成技術(shù)的成熟將成為MEMS功能優(yōu)化關(guān)鍵性節(jié)點(diǎn)

傳感器感測多個(gè)物理信號(hào)的功能需求變得越來越多，多種傳感集成的MEMS器件在滿足生產(chǎn)廠商更小體積、更低成本的要求的同時(shí)，給予了用戶更加豐富的用戶體驗(yàn)。密閉封裝集成傳感器、開放腔體集成傳感器和光學(xué)窗口集成傳感器這幾大集成方向無論從生產(chǎn)端還是用戶端都在逐漸滿足越來越多新出現(xiàn)的需求。

趨勢(shì)三： MEMS生態(tài)系統(tǒng)的建設(shè)將進(jìn)一步得到完善

各種傳感器將與其它電子組件集成，并結(jié)合相關(guān)軟件，使得系統(tǒng)集成商更容易使用，為情境感知應(yīng)用奠定基礎(chǔ)。

市場戰(zhàn)略正在轉(zhuǎn)向建立一個(gè)生態(tài)系統(tǒng)，讓系統(tǒng)集成商很容易為其產(chǎn)品增加一些智能傳感器功能（如圖6）。這就意味著需要整個(gè)供應(yīng)鏈的合作，注重嵌入式智能傳感系統(tǒng)的硬件集成和軟件開發(fā)。

 3  中國MEMS行業(yè)發(fā)展瓶頸

目前中國企業(yè)多數(shù)還在從事單個(gè)器件的開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化工作，產(chǎn)品技術(shù)開發(fā)能力有待于進(jìn)一步積累及提升。我國的MEMS設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)迫切需要企業(yè)的自主創(chuàng)新產(chǎn)品來推動(dòng)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

“一種產(chǎn)品、一種工藝”。新產(chǎn)品的開發(fā)要求必須與工藝緊密配合，目前產(chǎn)業(yè)界尚缺失先進(jìn)的用于研發(fā)與中試的創(chuàng)新平臺(tái)；需要在制造平臺(tái)上固化較少的幾個(gè)相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)的工藝來滿足各種傳感器的批量制造需求，因此需要相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)的制造工藝的開發(fā)；目前晶圓代工廠的MEMS及制造工藝能力尚在逐步提升中。

產(chǎn)品多樣性及要求差異性，導(dǎo)致封裝約占據(jù)了總成本的1/2；測試不僅僅是電信號(hào)，還包括各種物理信號(hào)，面對(duì)海量應(yīng)用，必須實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化大產(chǎn)能測試；目前還沒有建立起針對(duì)MEMS批量封裝和測試能力，缺乏通用的測試平臺(tái)。

4  MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展建議

有關(guān)MENS傳感器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，賽迪建議：緊抓中國物聯(lián)網(wǎng)市場，精準(zhǔn)規(guī)劃產(chǎn)品定位，開拓進(jìn)軍國際市場渠道；加快技術(shù)產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，全力推進(jìn)重點(diǎn)產(chǎn)品，借助優(yōu)勢(shì)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)產(chǎn)業(yè)突破；依靠產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展，打造產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系，突破技術(shù)及產(chǎn)業(yè)壁壘。

對(duì)于突破技術(shù)及產(chǎn)業(yè)壁壘，賽迪建議：

●  制造與研發(fā)是MEMS企業(yè)使產(chǎn)品具有較強(qiáng)競爭力的核心能力；

●  企業(yè)應(yīng)按照產(chǎn)品市場份額的增加，分階段投入MEMS制造生產(chǎn)線，以降低成本提高市場競爭力；

●  分析市場與機(jī)會(huì)時(shí)，按照對(duì)技術(shù)難度、潛在市場的分析，以及參考目前國內(nèi)產(chǎn)品研發(fā)情況；

●  加強(qiáng)MEMS產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)之間的合作關(guān)系，建立穩(wěn)定的供銷體系；

●  健全而完善的產(chǎn)業(yè)鏈體系為國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)開拓市場、鋪墊發(fā)展道路的根本保障。

本文來源于中國科技期刊《電子產(chǎn)品世界》2019年第1期第4頁，歡迎您寫論文時(shí)引用，并注明出處