應(yīng)用在軍用與航天領(lǐng)域的MEMS壓力傳感器迅猛增長(zhǎng)

　　廠商與產(chǎn)品

　　MEMS供應(yīng)商提供不同的集成水平。例如，美國(guó)霍尼韋爾可以生產(chǎn)傳感器，也可以生產(chǎn)完整的系統(tǒng)。美國(guó)Kulite Semiconductor Products向波音、空中客車、Canadair和Embraer供應(yīng)傳感器，并向許多直升機(jī)與軍用項(xiàng)目提供產(chǎn)品。

　　美國(guó)Eaton Corp.可能購(gòu)買MEMS傳感器，并將其整合到壓力變換器之中，但它也像霍尼韋爾一樣同時(shí)生產(chǎn)子系統(tǒng)。而美國(guó)GE Druck在英國(guó)萊斯特?fù)碛幸粋€(gè)4英寸硅片生產(chǎn)線。

　　MEMS壓力傳感器介紹

　　就是采用MEMS技術(shù)制造的壓力傳感器。MEMS是微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫。MEMS是美國(guó)的叫法，在日本被稱為微機(jī)械，在歐洲被稱為微系統(tǒng)，它是指可批量制作的，集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來(lái)的，目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域，從而進(jìn)行生物化學(xué)等實(shí)驗(yàn)室技術(shù)流程的芯片集成化。