應(yīng)用在軍用與航天領(lǐng)域的MEMS壓力傳感器迅猛增長

　　廠商與產(chǎn)品

　　MEMS供應(yīng)商提供不同的集成水平。例如，美國霍尼韋爾可以生產(chǎn)傳感器，也可以生產(chǎn)完整的系統(tǒng)。美國Kulite Semiconductor Products向波音、空中客車、Canadair和Embraer供應(yīng)傳感器，并向許多直升機與軍用項目提供產(chǎn)品。

　　美國Eaton Corp.可能購買MEMS傳感器，并將其整合到壓力變換器之中，但它也像霍尼韋爾一樣同時生產(chǎn)子系統(tǒng)。而美國GE Druck在英國萊斯特擁有一個4英寸硅片生產(chǎn)線。

　　MEMS壓力傳感器介紹

　　就是采用MEMS技術(shù)制造的壓力傳感器。MEMS是微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫。MEMS是美國的叫法，在日本被稱為微機械，在歐洲被稱為微系統(tǒng)，它是指可批量制作的，集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的，目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域，從而進行生物化學(xué)等實驗室技術(shù)流程的芯片集成化。