MEMS發(fā)展迅猛,制定測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)迫在眉睫
隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)快速拓展在消費(fèi)產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用,標(biāo)準(zhǔn)的MEMS元件測(cè)量方法有助提高MEMS元件測(cè)試效率,減少成本和測(cè)試時(shí)間,并促進(jìn)不同制造商之間的產(chǎn)品互通性。美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院(NIST)稍早前推出新的測(cè)量工具,能協(xié)助MEMS元件設(shè)計(jì)師、制造商測(cè)量MEMS元件的關(guān)鍵8維參數(shù)和材料特性。
MEMS最初的主要應(yīng)用是汽車(chē)安全氣囊的加速度計(jì),而今它已擴(kuò)展到廣大的消電子市場(chǎng),特別是高階智慧手機(jī),平均每一部智慧手機(jī)使用10顆MEMS元件,包括麥克風(fēng)、加速度感測(cè)器和陀螺儀等。另外,MEMS元件也已經(jīng)在平板電腦、游戲機(jī)、晶片實(shí)驗(yàn)室診斷系統(tǒng)、顯示器和植入式醫(yī)療設(shè)備中扮演重要角色。據(jù)市調(diào)公司Yole預(yù)估,全球MEMS產(chǎn)業(yè)營(yíng)將從2011年的100億美元成長(zhǎng)到2017年的210億美元。
附圖 : 新的NIST測(cè)試晶片能促進(jìn)不同制造商之間的產(chǎn)品互通性。
NIST開(kāi)發(fā)的成果是全新的測(cè)試晶片(參考設(shè)備8096和8097),8096測(cè)試晶片採(cǎi)用IC制程生產(chǎn),而8097測(cè)試晶片利用MEMS制程生產(chǎn)。據(jù)表示,新的NIST參考設(shè)備是一種微機(jī)械結(jié)構(gòu),未來(lái)還將整合微型懸臂、樑、梯型構(gòu)件、微米級(jí)尺度以及可用于測(cè)量表層厚度的測(cè)試結(jié)構(gòu)。具體而言,NIST的測(cè)試晶片可用于檢測(cè)元件是否符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量彈性(即楊氏模量)、殘余應(yīng)變(應(yīng)力)、應(yīng)變(和應(yīng)力)梯度,以及厚度、階梯高度和長(zhǎng)度。
NIST 表示所有參數(shù)和材料特性的測(cè)量均符合國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)(SEMI)和美國(guó)測(cè)試與材料協(xié)會(huì)(ASTM)的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法。新的測(cè)試晶片可對(duì)來(lái)自不同實(shí)驗(yàn)室或企業(yè)由不同設(shè)備制作的MEMS元件進(jìn)行準(zhǔn)確的比對(duì),讓實(shí)驗(yàn)室或企業(yè)更容易對(duì)制程和校準(zhǔn)儀器進(jìn)行特徵化和故障排除。
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