KLA-Tencor公司助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展

　　KLA-Tencor的業(yè)務(wù)涵蓋了半導(dǎo)體的多個領(lǐng)域，從硅片檢測到線寬量測，以及光罩部分，KLA-Tencor都在業(yè)界處于領(lǐng)先水平。同時，KLA-Tencor也在積極向LED等新的領(lǐng)域擴展。 除了這些業(yè)務(wù)以外，KLA-Tencor還提供技術(shù)支持與服務(wù)，幫助客戶實現(xiàn)更大的生產(chǎn)價值。KLA-Tencor在中國的總部位于上海，在北京、天津、蘇州、無錫、大連、西安、武漢都設(shè)有分支機構(gòu)?？倖T工人數(shù)超過190人，裝機量突破了1600臺。KLA-Tencor非常重視中國市場，在中國進(jìn)行了持續(xù)的投資以實現(xiàn)進(jìn)一步的發(fā)展。我們立志于幫助中國客戶一起提升良率，降低生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。

　　半導(dǎo)體制程控制設(shè)備的市場大約有49億美元，制程控制的成本大約占總生產(chǎn)成本的15%，在半導(dǎo)體制造中有著舉足輕重的作用。KLA-Tencor用于研發(fā)的費用逐年遞增。大量的研發(fā)投入確保了KLA-Tencor在檢測技術(shù)上的領(lǐng)先地位。客戶對未來的電子產(chǎn)品提出了更高的要求，包括更多的功能，更快的速度，更低的成本，更長的電池使用壽命等。這就要求業(yè)界能夠提供更好的技術(shù)以實現(xiàn)這些需求。如果我們無法發(fā)現(xiàn)缺陷，那么就無法對缺陷定位;如果無法測量缺陷，那么就無法有效的控制制程。良率控制在整個制程中非常關(guān)鍵，產(chǎn)品從研發(fā)到上線大約為12到24個月。因此若無法迅速的使產(chǎn)品上線，那么將會會喪失市場份額和競爭力。

　　半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)面臨很多挑戰(zhàn)，有技術(shù)上的提升，也有成本上的挑戰(zhàn)，還有產(chǎn)業(yè)中持續(xù)進(jìn)行的兼并整合。同時產(chǎn)業(yè)也充滿著不確定性。新的結(jié)構(gòu)、材料以及封裝技術(shù)將取代2D產(chǎn)品。EUV光刻技術(shù)將被推遲到2018年以后。大尺寸的450mm晶圓也將有可能延遲。產(chǎn)業(yè)的整合帶來了更嚴(yán)峻的競爭。半導(dǎo)體的技術(shù)拐點非常難以預(yù)測。2011年業(yè)界預(yù)測EUV將在14nm使用，今天看來EUV技術(shù)有可能延遲到2018年的7nm節(jié)點。預(yù)測相對準(zhǔn)確的是邏輯FinFET結(jié)構(gòu)，它在2012年得以應(yīng)用在實際生產(chǎn)中。

　　隨著技術(shù)的進(jìn)步發(fā)展，制程的步驟越來越多，工藝也更加復(fù)雜化。例如在14nm, 采用EUV光刻技術(shù)的制程步驟將超過700步，而采用多重圖形技術(shù)的步驟則為1000步甚至更多。工藝窗口的挑戰(zhàn)要求幾乎“零缺陷”， 對工藝控制水平提出了更高的要求。KLA-Tencor與客戶進(jìn)行了緊密的合作。當(dāng)客戶在生產(chǎn)和研發(fā)過程中遇到了新的挑戰(zhàn)時，KLA-Tencor的工程師在第一時間了解客戶的需求，借助自身強大的研發(fā)能力解決客戶的難題。經(jīng)過不斷的反饋與修正，最終實現(xiàn)和客戶之間的共同研發(fā)和進(jìn)步。

　　KLA-Tencor的產(chǎn)品線非常豐富，涵蓋了半導(dǎo)體制程的各個環(huán)節(jié)和技術(shù)節(jié)點，包括晶圓表面缺陷、光罩、薄膜、關(guān)鍵尺寸等等。KLA-Tencor的設(shè)備也同時提供數(shù)據(jù)的分析和儲存。在其它領(lǐng)域，如高亮度LED、MEMS、功率器件等，KLA-Tencor也為客戶提供了大量的先進(jìn)技術(shù)和機臺。

　　以下是媒體記者會上，我們對首席營銷官Brian Trafas博士的采訪：

　　Q: 28nm節(jié)點的投入與產(chǎn)出并不完全匹配，KLA-Tencor如何看待這一問題?

　　A: 更先進(jìn)的技術(shù)節(jié)點意味著更大的研發(fā)投入，也就是成本的上升。所以隨著成本的增加，良率的提升就顯得尤為重要，良率與成本需要達(dá)到平衡。同時要盡量縮短從研發(fā)到上線，再到最終產(chǎn)品的周期。上市的周期縮短了才能更快的實現(xiàn)盈利。KLA-Tencor一直致力于幫助客戶加快產(chǎn)品開發(fā)周期，從而降低成本。

　　Q：可穿戴電子設(shè)備是半導(dǎo)體芯片應(yīng)用的新領(lǐng)域。它具有更多的功能和很多的傳感器，意味著芯片的結(jié)構(gòu)也更加復(fù)雜。那么這樣復(fù)雜的芯片制造對于檢測技術(shù)提出了哪些新的挑戰(zhàn)?

　　A：我們非常贊同您的觀點。成本是非常重要的，更加復(fù)雜的功能確實對芯片制造提出了更高的要求，這些新的挑戰(zhàn)有很多是在封裝和良率控制方面。KLA-Tencor也有專門的機臺服務(wù)于這些領(lǐng)域。

　　Q：KLA-Tencor目前在中國的機臺數(shù)量超過1600臺，請問今年的訂單狀況如何?對明年有什么預(yù)期?今年中國政府出臺了很多政策扶持產(chǎn)業(yè)發(fā)展，包括國家專項基金。 KLA-Tencor如何看待這些政策對產(chǎn)業(yè)的帶動作用?

　　A: KLA-Tencor非?？粗刂袊袌觥?KLA-Tencor在中國發(fā)展的這些年里，有時比較順利，有時也面臨很多問題，目前，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(一期規(guī)模1200億)獲批，聚焦制造和設(shè)計兩個核心環(huán)節(jié)，同時北京、安徽、天津等地相繼出臺了集成電路扶持意見。因此，中國集成電路產(chǎn)業(yè)將迎來重要發(fā)展機遇。因此，KLA-Tencor公司也將加大在中國的投入力度，全力支持中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。但總的來說，道路是曲折的，前途是光明的，我們相信未來的中國市場會有很好的發(fā)展前景。無論產(chǎn)業(yè)的起起伏伏，我們看到了政府對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力支持，無論大環(huán)境還是小環(huán)境，中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在向好的方向發(fā)展。雖然對未來做精確的預(yù)測比較難，但是未來的一年我們認(rèn)為應(yīng)該會是一個不錯的年份。KLA-Tencor在中國的客戶包括了幾乎所有的晶圓廠，無論是中國本土的華虹宏利、中芯國際，或是制程集中在6寸的先進(jìn)半導(dǎo)體，也包括了合資的企業(yè)例如海力士、TSMC、三星、Intel等。國內(nèi)的很多半導(dǎo)體工藝設(shè)備廠商也是我們的客戶，因為他們需要用到KLA-Tencor的機臺來檢測自己的工藝是否合格。總之，KLA-Tencor對于中國的市場非常有信心。

　　Q：有一些外資企業(yè)通過參股中國本土半導(dǎo)體公司的方式來共享政府的紅利。請問KLA-Tencor是否有計劃通過資金投入的方式獲得同樣的紅利?

　　A：KLA-Tencor在中國的研發(fā)投入一直在不斷加大，我們有一些專門的部門在負(fù)責(zé)這方面的事項。中國不僅有好的政策支持，也擁有大量的優(yōu)秀人才和市場，KLA-Tencor在未來會把一些可以拿到中國來的研發(fā)工作盡量放到中國來做。KLA-Tencor不僅為客戶提供服務(wù)和支持，同樣也在研發(fā)資金方面進(jìn)行持續(xù)的投入。

　　Q: KLA-Tencor目前在中國集中在上海及附近的地區(qū)，但是中國很多地方爭睹希望吸引到更多的公司到當(dāng)?shù)亟◤S或設(shè)立配套設(shè)施。請問KLA-Tencor未來有沒有考慮將配套設(shè)施擴大到中國的其他區(qū)域?

　　A：上海市中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最集中的地區(qū)，KLA-Tencor除了在上海設(shè)有辦事處外，在北京、西安、無錫等地也都有據(jù)點。我們的原則是客戶去哪里我們就去哪里。KLA-Tencor會盡自己的所能幫助客戶取得最大的成功。

　　Q：KLA-Tencor對未來LED產(chǎn)業(yè)有什么樣的規(guī)劃?對目前中國LED產(chǎn)能過剩的情況有什么看法?

　　A：KLA-Tencor的主要業(yè)務(wù)還是半導(dǎo)體，但是我們一直在關(guān)注LED產(chǎn)業(yè)，也注意到了產(chǎn)能過剩的現(xiàn)象。KLA-Tencor的LED產(chǎn)品主要集中于襯底的測量，以及高端LED工藝的檢測。另外襯底同樣也可以應(yīng)用于其它的新興領(lǐng)域例如功率器件，因此對于KLA-Tencor來說，我們的檢測設(shè)備擁有更廣闊的市場。受前兩年國內(nèi)部分地方政府財政補貼引發(fā)企業(yè)投資熱潮，而LED照明市場又因價格過高制約市場普及的影響，國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)近兩年深陷產(chǎn)能過剩困境。雖然現(xiàn)在中國LED產(chǎn)業(yè)目前雖面臨產(chǎn)能過剩，但未來肯定會扭轉(zhuǎn)過來。