國產(chǎn)光刻機(jī) 文章 進(jìn)入國產(chǎn)光刻機(jī)技術(shù)社區(qū)

工信部推廣國產(chǎn)DUV光刻機(jī)，最小套刻精度≤8nm

• 大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)消息，自中華人民共和國工業(yè)和信息化部官網(wǎng)獲悉，日前，工信部宣布印發(fā)《首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024 年版）》。其中，在《首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024年版）》電子專用裝備目錄下，集成電路設(shè)備方面包括：氟化氬光刻機(jī)，光源193納米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。在“工信微報(bào)”官方公眾號中提到，重大技術(shù)裝備是國之重器，事關(guān)綜合國力和國家安全。中國首臺（套）重大技術(shù)裝備是指國內(nèi)實(shí)現(xiàn)重大技術(shù)突破、擁有知識產(chǎn)權(quán)、尚未取得明顯市場業(yè)績的裝備產(chǎn)品，包括整機(jī)設(shè)備、核心系
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