工信部推廣國產(chǎn)DUV光刻機(jī)，最小套刻精度≤8nm

大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)消息，自中華人民共和國工業(yè)和信息化部官網(wǎng)獲悉，日前，工信部宣布印發(fā)《首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024 年版）》。

其中，在《首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024年版）》電子專用裝備目錄下，集成電路設(shè)備方面包括：氟化氬光刻機(jī)，光源193納米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。

在“工信微報(bào)”官方公眾號(hào)中提到，重大技術(shù)裝備是國之重器，事關(guān)綜合國力和國家安全。中國首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備是指國內(nèi)實(shí)現(xiàn)重大技術(shù)突破、擁有知識(shí)產(chǎn)權(quán)、尚未取得明顯市場業(yè)績的裝備產(chǎn)品，包括整機(jī)設(shè)備、核心系統(tǒng)和關(guān)鍵零部件等。該文件的發(fā)布旨在促進(jìn)首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備創(chuàng)新發(fā)展和推廣應(yīng)用，加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)、財(cái)政、金融、科技等國家支持政策的協(xié)同。