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上海微電子采購Bumotec機(jī)床 加速中國光刻機(jī)研發(fā)

• 　　去年，一臺(tái)價(jià)值1.06億元設(shè)備經(jīng)空運(yùn)從荷蘭飛抵廈門，由于該設(shè)備價(jià)值高，而且對(duì)保存和運(yùn)輸有著很高的要求——保存溫度必須保持在23攝氏度恒溫狀態(tài)下，為了避免影響設(shè)備的精度，在運(yùn)輸中也對(duì)穩(wěn)定性有極高的要求。因此，機(jī)場海關(guān)以機(jī)坪查驗(yàn)的方式對(duì)該貨物實(shí)行全程機(jī)邊監(jiān)管，待貨物裝入特制溫控氣墊車后移至海關(guān)的機(jī)坪視頻監(jiān)控探頭之下，在完成緊急查驗(yàn)后當(dāng)晚就放行。 　　沒錯(cuò)，這臺(tái)設(shè)備就是荷蘭ASML的光刻機(jī)。鐵流猜測(cè)，這臺(tái)設(shè)備很有可能是廈門當(dāng)?shù)卣c臺(tái)灣聯(lián)華電子合資的晶圓廠從荷蘭ASML采購的。
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