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上海微電子采購(gòu)Bumotec機(jī)床 加速中國(guó)光刻機(jī)研發(fā)

作者: 時(shí)間:2017-06-09 來源:微信 收藏

  去年,一臺(tái)價(jià)值1.06億元設(shè)備經(jīng)空運(yùn)從荷蘭飛抵廈門,由于該設(shè)備價(jià)值高,而且對(duì)保存和運(yùn)輸有著很高的要求——保存溫度必須保持在23攝氏度恒溫狀態(tài)下,為了避免影響設(shè)備的精度,在運(yùn)輸中也對(duì)穩(wěn)定性有極高的要求。因此,機(jī)場(chǎng)海關(guān)以機(jī)坪查驗(yàn)的方式對(duì)該貨物實(shí)行全程機(jī)邊監(jiān)管,待貨物裝入特制溫控氣墊車后移至海關(guān)的機(jī)坪視頻監(jiān)控探頭之下,在完成緊急查驗(yàn)后當(dāng)晚就放行。

本文引用地址:http://butianyuan.cn/article/201706/360277.htm
上海微電子采購(gòu)Bumotec機(jī)床 加速中國(guó)光刻機(jī)研發(fā)

  沒錯(cuò),這臺(tái)設(shè)備就是荷蘭ASML的。鐵流猜測(cè),這臺(tái)設(shè)備很有可能是廈門當(dāng)?shù)卣c臺(tái)灣聯(lián)華電子合資的晶圓廠從荷蘭ASML采購(gòu)的。不過,由于西方瓦森納協(xié)議的限制,中國(guó)只能買到ASML的中低產(chǎn)品,這一點(diǎn)從廈門當(dāng)?shù)仄髽I(yè)進(jìn)口的報(bào)價(jià)僅1億人民幣就可以看出來了。

  目前,領(lǐng)域的龍頭老大是荷蘭ASML,并已經(jīng)占據(jù)了高達(dá)80%的市場(chǎng)份額,壟斷了高端光刻機(jī)市場(chǎng),日本尼康在高端光刻機(jī)上完全被ASML擊敗,即便尼康的ArF光刻機(jī)售價(jià)僅為ASML的一半也無補(bǔ)于事。Intel、臺(tái)積電、三星用來加工14/16nm芯片的光刻機(jī)都是買自ASML,格羅方德、聯(lián)電以及中芯國(guó)際等晶圓廠的光刻機(jī)主要也是來自ASML。

  更關(guān)鍵的是,最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)全球僅有ASML能夠生產(chǎn),ASML在去年第三季度和第四季度出售的兩臺(tái)EUV光刻機(jī)售價(jià)都超過1億美元,落后EUV一代的ArF光刻機(jī)平均售價(jià)也在4000萬至5000萬歐元左右,從高企的報(bào)價(jià)和EUV光刻機(jī)全球僅此一家出售可以看出,光刻機(jī)的技術(shù)門檻極高,是人類智慧集大成的產(chǎn)物。

  相比之下,國(guó)內(nèi)光刻機(jī)廠商則顯得非常寒酸,處于技術(shù)領(lǐng)先的上海微電子裝備有限公司已量產(chǎn)的光刻機(jī)中性能最好的是能用來加工90nm芯片的光刻機(jī),技術(shù)差距說是鴻溝都不為過,正是因此,國(guó)內(nèi)晶圓廠所需的高端光刻機(jī)完全依賴進(jìn)口。

  據(jù)消息人士披露,上海微電子訂了一批機(jī)床。是瑞士斯達(dá)拉格旗下的子品牌,能制造頂尖的加工光學(xué)儀器的機(jī)床,據(jù)說比ASML用的德國(guó)機(jī)床還好點(diǎn)——一般人耳熟能詳?shù)哪切└叨藱C(jī)床,和斯達(dá)拉格不是一個(gè)世界的,斯達(dá)拉格專攻高精尖制造領(lǐng)域的制造設(shè)備,所以知道這個(gè)公司的人非常少。但名氣小不意味著技術(shù)就不頂尖。

  在本土機(jī)床還存在一定技術(shù)差距的情況下,通過這種方式有助于提升中國(guó)光刻機(jī)的研發(fā)進(jìn)度和技術(shù)提升。誠(chéng)然,在采購(gòu)瑞士機(jī)床的同時(shí),國(guó)內(nèi)也要做好國(guó)產(chǎn)化替代工作,實(shí)現(xiàn)兩條腿走路。

  另外,關(guān)于上微和ASML合作的消息,有朋友在微信上留言,懷疑上微是不是要當(dāng)偽軍,但其實(shí)并非如此。主要是上微的一些技術(shù)和ASML的專利比較那個(gè)啥,然后ASML就打官司,但一直沒結(jié)果,中國(guó)政府也在中間協(xié)調(diào)。最后ASML搞的很煩了,索性就以合作的名義,拿一筆錢,就不打官司了。所以這個(gè)合作并不意味著上微要當(dāng)偽軍。而是繼續(xù)走自主研發(fā)之路,只不過在前行之中可能會(huì)借鑒一些前人探索出來的捷徑。



關(guān)鍵詞: Bumotec 光刻機(jī)

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