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應(yīng)用材料公司推出全新SEMVision G4缺陷再檢測系統(tǒng)

  • 　　近日，應(yīng)用材料公司推出最先進的缺陷再檢測SEM(掃描電子顯微鏡)SEMVision™ G4系統(tǒng)，它將應(yīng)用材料公司非常成功的SEMVision系統(tǒng)的技術(shù)和生產(chǎn)能力提升到45納米及更小的技術(shù)節(jié)點。SEMVision G4系統(tǒng)的關(guān)鍵在于全新的SEM聚焦離子槍技術(shù)和增強的多視角SEM成像系統(tǒng)(MPSI)，他們具有卓越的2納米物理精度，能提供無與倫比的成像質(zhì)量，其每秒一個缺陷的檢測速度也設(shè)定了新的基準(zhǔn)。 　　應(yīng)用材料公司工藝診斷和控制事業(yè)部SEM部門總經(jīng)理Ronen Benzion表示：“45納米
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