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KLA-Tencor發(fā)布全新SURFmonitor系統(tǒng)

  • KLA-Tencor正式發(fā)布最新 SURFmonitor 系統(tǒng)，該模塊擴(kuò)展了業(yè)界領(lǐng)先的 Surfscan SP2 無(wú)圖形表面檢測(cè)系統(tǒng)，超越了傳統(tǒng)的缺陷檢測(cè)范圍，具備監(jiān)控工藝變化和偏移的能力。SURFmonitor 系統(tǒng)專門用于測(cè)量裸晶片或薄膜表面形態(tài)變化，而這些變化與多種工藝參數(shù)如表面粗糙度、微粒尺寸和溫度等均有關(guān)聯(lián)。該系統(tǒng)可在收集缺陷信息的同時(shí)，在不到一分鐘時(shí)間內(nèi)生成具備亞埃級(jí)重復(fù)性的詳細(xì)全晶片參數(shù)圖，使代工廠能夠同時(shí)監(jiān)控工藝變化和缺陷情況。S
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