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SOI(絕緣體上硅)的采用日趨活躍
- 2004年5月A版 目前,越來越多的公司在采用SOI(絕緣體上硅)作為半導(dǎo)體生產(chǎn)的材料。在3月上海舉行的SEMICON China期間,法國Soitec公司COO(首席運(yùn)營官)Pascal Mauberger先生介紹了近期SOI的發(fā)展動(dòng)向。 SOI市場與應(yīng)用 “摩爾定律長盛不衰,主要?dú)w功于尺寸越來越小,90年代以前這主要靠設(shè)備供應(yīng)商與IC供應(yīng)商的努力?!?Mauberger話鋒一轉(zhuǎn),“但由于材料供應(yīng)商的崛起,特別是由于工程基板或工程材料的技術(shù)進(jìn)步,實(shí)際材料已進(jìn)入了這個(gè)等式,形成了與設(shè)備賞、I
- 關(guān)鍵字: SOI 半導(dǎo)體材料
soi介紹
SOI(Silicon-On-Insulator,絕緣襯底上的硅)技術(shù)是在頂層硅和背襯底之間引入了一層埋氧化層。通過在絕緣體上形成半導(dǎo)體薄膜,SOI材料具有了體硅所無法比擬的優(yōu)點(diǎn):可以實(shí)現(xiàn)集成電路中元器件的介質(zhì)隔離,徹底消除了體硅CMOS電路中的寄生閂鎖效應(yīng);采用這種材料制成的集成電路還具有寄生電容小、集成密度高、速度快、工藝簡單、短溝道效應(yīng)小及特別適用于低壓低功耗電路等優(yōu)勢(shì),因此可以說SO [ 查看詳細(xì) ]
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