MOCVD自主生產(chǎn)推動(dòng)LED產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展

　　12月12日，我國(guó)首臺(tái)具有世界先進(jìn)水平的大型國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備在上海張江高新區(qū)核心園發(fā)運(yùn)。有關(guān)專(zhuān)家表示，這不僅標(biāo)志著我國(guó)在實(shí)現(xiàn)大型MOCVD設(shè)備國(guó)產(chǎn)化戰(zhàn)略目標(biāo)的征途上邁開(kāi)了具有里程碑意義的一步，而且充分體現(xiàn)了中國(guó)有能力在高端裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)跨越式發(fā)展。

　　據(jù)介紹，MOCVD是在氣相外延生長(zhǎng)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種新型氣相外延生長(zhǎng)技術(shù)。作為LED芯片生產(chǎn)過(guò)程中最為關(guān)鍵的設(shè)備，MOCVD的核心技術(shù)長(zhǎng)期被歐美企業(yè)壟斷，嚴(yán)重制約了我國(guó)LED產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。隨著半導(dǎo)體照明逐漸成為L(zhǎng)ED產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主要推動(dòng)力，現(xiàn)有被壟斷的設(shè)備已不能滿(mǎn)足LED大規(guī)模生產(chǎn)和產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展的需要。

　　今年1月18日，中晟光電設(shè)備(上海)有限公司成功實(shí)現(xiàn)了擁有自主創(chuàng)新知識(shí)產(chǎn)權(quán)的大型國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備下線，并用10個(gè)月時(shí)間對(duì)工藝和設(shè)備進(jìn)一步改進(jìn)優(yōu)化;在此基礎(chǔ)上，又完成了4家客戶(hù)的多次實(shí)地考察，操作設(shè)備和驗(yàn)證各項(xiàng)工藝?？蛻?hù)對(duì)中晟MOVCD的評(píng)價(jià)是：具有目前世界上最高的系統(tǒng)產(chǎn)能、最低的外延生產(chǎn)成本、良好的波長(zhǎng)均勻性以及大規(guī)模外延生產(chǎn)所需的各項(xiàng)關(guān)鍵性能。