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賽默飛Talos F200E 掃描透射電子顯微鏡提供原子級成像和快速EDS分析

—— 新一代儀器提升數(shù)據(jù)可靠性,控制圖像畸變≤1%
作者: 時間:2021-03-17 來源:電子產(chǎn)品世界 收藏

科學(xué)服務(wù)領(lǐng)域的世界領(lǐng)導(dǎo)者賽默飛世爾科技(以下簡稱:賽默飛)宣布推出Talos F200E掃描透射電子顯微鏡(以下簡稱:(S)TEM),這款產(chǎn)品提供原子級分辨率成像和快速的能量色散X射線能譜(以下簡稱:EDS)分析,可提升數(shù)據(jù)可靠性,滿足半導(dǎo)體行業(yè)日益增長的需求。

本文引用地址:http://butianyuan.cn/article/202103/423566.htm

隨著5G時代的到來,通信技術(shù)的快速發(fā)展將進(jìn)一步激發(fā)對更高效能的半導(dǎo)體設(shè)備的需求。自動駕駛、人工智能、工業(yè)4.0、智慧城市和物聯(lián)網(wǎng)(IoT)也都在推動半導(dǎo)體制程向著更小、更復(fù)雜的方向發(fā)展。半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展驅(qū)使其研發(fā)實(shí)驗(yàn)室需要更高效的解決方案予以支持,以滿足在原子級分辨率上的大批量、可復(fù)現(xiàn)的 (S)TEM結(jié)果的實(shí)現(xiàn)。

Talos F200E (S)TEM 可發(fā)揮其自動校準(zhǔn)的屬性,控制圖像畸變≤1%,使用戶能夠獲得快速、可靠和可重復(fù)的結(jié)果??膳渲玫腄ual-X比之前的Talos F200X 提供了更強(qiáng)大的EDS探測器,使EDS分析速度提高了1.5倍。Talos F200E 具有成本效益,易用性高,幫助半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)快速的樣品表征,加快可以量產(chǎn)的速度,提高制程良率。

“隨著創(chuàng)新的步伐不斷加快,半導(dǎo)體企業(yè)要求其分析實(shí)驗(yàn)室加快周轉(zhuǎn)時間,并在各種設(shè)備和工藝技術(shù)上提供更可靠和可復(fù)現(xiàn)的(S)TEM數(shù)據(jù),以支持他們的業(yè)務(wù),”賽默飛半導(dǎo)體事業(yè)部副總裁Glyn Davies說道,“Talos F200E通過提供高質(zhì)量的圖像數(shù)據(jù)、快速的化學(xué)分析和行業(yè)領(lǐng)先的缺陷表征等特質(zhì),可以為客戶提供高性價比、易用的解決方案?!?/p>



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