MEMS加工-MEMS制造技術(shù)

全球共有250家MEMS器件生產(chǎn)企業(yè)，產(chǎn)品主要用于滿足自身終端消費(fèi)電子產(chǎn)品的需要。MEMS應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，單個(gè)細(xì)分市場規(guī)模很窄，一家公司以幾億美元規(guī)模就能占據(jù)1至2個(gè)產(chǎn)品龍頭地位。例如，德州儀器占據(jù)DLP市場，惠普占據(jù)打印機(jī)噴墨頭市場，安華高科技占據(jù)濾波器市場，ADI、ST、飛思卡爾和美新占據(jù)加速度計(jì)市場，樓氏占據(jù)麥克風(fēng)市場。為了降低成本、壟斷市場，國際大公司都加大了8英寸MEMS生產(chǎn)線的建設(shè)。意法半導(dǎo)體2006年將MEMS生產(chǎn)線升級(jí)到8英寸，歐姆龍、飛思卡爾也開始籌建8英寸生產(chǎn)線。

國內(nèi)MEMS加工產(chǎn)業(yè)還處于導(dǎo)入期，北京青鳥元芯及無錫美新半導(dǎo)體占據(jù)領(lǐng)先地位。青鳥元芯依托北京大學(xué)微電子研究院，成為國內(nèi)第一家批量生產(chǎn)MEMS微型傳感器的高新技術(shù)企業(yè)，月產(chǎn)MEMS傳感器達(dá)10萬只。無錫美新半導(dǎo)體是全球第一家使用標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝、單芯片上集成混合信號(hào)處理的熱對(duì)流MEMS慣性傳感器公司；設(shè)計(jì)生產(chǎn)能力為1500萬片/月，加速計(jì)產(chǎn)品500萬片/月，在無錫第二家CMOS-MEMS工廠已經(jīng)投產(chǎn)，每月可生產(chǎn)1000萬個(gè)加速計(jì)。但不可否認(rèn)，國內(nèi)MEMS制造商的平均生產(chǎn)能力較弱，多數(shù)仍采用4到 5英寸的中低端生產(chǎn)線。青鳥元芯就是利用早期從福特公司買來一條二手生產(chǎn)線制造MEMS傳感器。

無錫近鄰蘇州有昆山傳感器產(chǎn)業(yè)基地。該基地作為我國唯一生產(chǎn)傳感器的國家級(jí)產(chǎn)業(yè)基地，形成了以自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的硅壓阻式MEMS傳感器和變送器為核心的產(chǎn)業(yè)鏈，擁有總投資18億元的30家傳感器生產(chǎn)企業(yè)。國內(nèi)MEMS壓力傳感器的龍頭企業(yè)—雙橋測控傳感器有限公司與敏芯（蘇州）微電子企業(yè)都名列其中。