提升產(chǎn)業(yè)鏈競爭力 中國掩模版邁向高世代

　　從表面上看，第8代和第5代掩模版的精度要求相當(dāng)，但8代掩模版尺寸為 1220mm ×1400mm，面積特別大，達(dá)到1.7m 2，是第5代掩模版面積的4.1倍，因此實現(xiàn)同等的技術(shù)指標(biāo)的難度系數(shù)要大很多，這在CD精度、TP精度、缺陷等三大技術(shù)指標(biāo)上都有所體現(xiàn)。

　　從CD精度來看，第8代掩模版面積約為第5代掩模版面積的4倍，但圖形關(guān)鍵尺寸的絕對精度誤差指標(biāo)仍為小于±0.35μm，面積增大之后，CD精度要滿足要求，其工藝難度就隨之增大。

　　從TP精度來看，雖然TP絕對精度指標(biāo)要求都為小于±0.50μm，但根據(jù)其實際長度和面積換算，第5代掩模版等比允許其位置精度累計在90nm/100mm左右的水準(zhǔn)，而第8代掩模版等比僅允許位置精度誤差累計在40nm/100mm左右的水準(zhǔn)，精度要求提升了一倍。

　　從缺陷指標(biāo)來看，第8代掩模版面積大，因此缺陷概率肯定增大，工藝控制難度增加。

　　邁向高世代促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展

　　目前全球TFT-LCD用掩模版供貨廠家主要為日本的HOYA、SKE，韓國的LGMi-cron、PKL，以及我國臺灣地區(qū)的AIPC公司。在中國大陸，清溢光電在成功研制5代TFT-LCD用掩模版后，成為全球第6家具備TFT掩模版生產(chǎn)能力的廠家。

　　就銷售額來說，HOYA在掩模版市場上處于主導(dǎo)地位，占全球份額的28%。其他如SKE和韓國LGM、PKL由于積極開發(fā)大尺寸掩模版，也占有了相當(dāng)大的份額。中國大陸的掩模版產(chǎn)業(yè)尚處于起步階段，但由于大陸面板產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，給清溢光電帶來了前所未有的機遇，清溢光電所擁有的成本和本地化的優(yōu)勢都將使其市場占有率得到很大提升。

　　清溢光電作為中國大陸第一家專業(yè)掩模版公司，與國外同行相比，清溢光電TFT-LCD用掩模版在國內(nèi)競爭優(yōu)勢明顯。通過發(fā)揮政策優(yōu)勢、價格優(yōu)勢、成本優(yōu)勢、服務(wù)優(yōu)勢、區(qū)域優(yōu)勢和品牌優(yōu)勢，構(gòu)建清溢光電的競爭策略，預(yù)計2014年可實現(xiàn)銷售收入5億元。

　　在國家對彩電產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整的背景下，在打造相對完整的平板彩電產(chǎn)業(yè)鏈的目標(biāo)引導(dǎo)下，清溢光電將在已量產(chǎn)的第 5代TFT-LCD掩模版生產(chǎn)線的基礎(chǔ)上，建設(shè)國內(nèi)首條第8代TFT-LCD用掩模版生產(chǎn)線項目，這將避免國內(nèi)第8代TFT-LCD用掩模版依賴進(jìn)口，對于促進(jìn)我國TFT-LCD產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展、提升產(chǎn)業(yè)鏈競爭力具有重要的戰(zhàn)略意義。該高世代掩模版項目將帶動石英玻璃基材、保護(hù)膜、平板顯示器件生產(chǎn)專用設(shè)備等上游產(chǎn)業(yè)發(fā)展，并推動下游彩色濾光片、液晶面板技術(shù)的進(jìn)步。