mems(微電子機(jī)械系統(tǒng)) 文章進(jìn)入mems(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)社區(qū)

MEMS創(chuàng)新工藝解決微型MEMS的無縫互連挑戰(zhàn)

　　如果你正在尋求挑戰(zhàn)，那么就試試將微電機(jī)系統(tǒng)(MEMS)IC 和傳統(tǒng)IC 以及其它MEMS IC互連吧。MEMS 技術(shù)涉及到許多不同功能之間的高層集成。　　MEMS 芯片的集成通常是指電子和機(jī)械功能的集成。那么這種工藝的最終目標(biāo)是什么呢？答案是：將MEMS 結(jié)構(gòu)無縫集成到與之相連的同一CMOS 芯片上。　　目前的MEMS 芯片可能包含了電子和機(jī)械功能。在某些情況下，它們還可能包含光信號(hào)。這種被稱為微光電機(jī)系統(tǒng)(MOEMS)的器件采用微鏡引導(dǎo)高清電視中的信號(hào)，今后甚至?xí)龑?dǎo)互聯(lián)網(wǎng)上的信號(hào)。另外一種
關(guān)鍵字： MEMS 無縫互連 IC CMOS 微流體

利用MEMS技術(shù)制作無線通信用RF元件

所謂FBRA是指壓電體被施加交流電界時(shí)，壓電體厚度方向發(fā)生振動(dòng)，利用壓電體具備的固有振動(dòng)特性的共振器而言。新...
關(guān)鍵字：可變電容器電極 MEMS 壓電薄膜元件濾波器高Q值 RF ZnO 頻率溫度系數(shù)

歐姆龍?zhí)镏行愕洌簞?chuàng)新功能將推進(jìn)消費(fèi)電子市場(chǎng)不斷擴(kuò)大

　　1933年，在經(jīng)歷了一些創(chuàng)業(yè)挫折后，立石一真先生（Kazuma Tateishi）在大阪建立了一個(gè)名為立石電機(jī)制作所的小型工廠，當(dāng)時(shí)只有兩名職員。公司在起步階段除了生產(chǎn)供X光透視機(jī)上定時(shí)器外，后來一度專門生產(chǎn)保護(hù)繼電器，75年后，這個(gè)當(dāng)年只有3人的小公司成為電子產(chǎn)業(yè)赫赫有名的公司，年銷售額突破7600億日元！這個(gè)公司就是歐姆龍株式會(huì)社。近日，歐姆龍電子部品(中國(guó))統(tǒng)轄集團(tuán)總裁田中秀典(Tanaka Hedenori)（以下簡(jiǎn)稱田中）在接受博維新媒體（以下簡(jiǎn)稱博）獨(dú)家專訪時(shí)，就電子元器件產(chǎn)業(yè)的未來發(fā)展和
關(guān)鍵字：歐姆龍手機(jī) 工業(yè)自動(dòng)化電子元件汽車電子 MEMS 傳感器

了解電子紙顯示器技術(shù)最新動(dòng)態(tài)

　　關(guān)于電子紙(E-pape)顯示器的消息一直不絕于耳，這種顯示器承諾為我們帶來可纏繞的廣告標(biāo)識(shí)、可佩帶的手腕監(jiān)視器和可折疊或卷起來插進(jìn)衣兜內(nèi)的電子報(bào)刊。雖然這些令人嘆為觀止的產(chǎn)品要想真正商用還需時(shí)日，但使這一切得以實(shí)現(xiàn)的顯示技術(shù)正在取得進(jìn)展。　　電子紙包括若干反射式顯示技術(shù)，可將其大致分成：粒子顯示、LCD和MEMS顯示。粒子顯示包括電致變色(ECD)和電泳(EPD)顯示；LCD主要有膽甾液晶器件(ChLCD)和專有技術(shù)的雙穩(wěn)態(tài)扭曲向列(TN)LCD。該領(lǐng)域的主要供應(yīng)商包括：制造ChLCD的Kent
關(guān)鍵字：電子紙 LCD MEMS E Ink

從北美FTF看飛思卡爾發(fā)展端倪(四)

　　住城堡式酒店、居沼澤湖、吃精美大餐、聽吉他、看搖滾……作為一家半導(dǎo)體公司，在這樣的奢華場(chǎng)所舉辦用戶年會(huì)，在很多國(guó)人眼里被嘲笑為冤大頭、瞎花錢，離smart（精明）十萬八千里，更甭提什么smarter了！　　但這也無可厚非，燕雀和鴻鵠各有定位。作為數(shù)項(xiàng)產(chǎn)品在世界市場(chǎng)上名列前茅的公司，飛思卡爾此次介紹了他們的產(chǎn)品動(dòng)向和發(fā)展計(jì)劃。　　傳感器和執(zhí)行器　　傳感器和執(zhí)行解決部門副總裁兼總經(jīng)理Demetre Kondylis說，該公司2007年傳感器在世界市場(chǎng)居于第三位，主要的
關(guān)鍵字：飛思卡爾 FTF 傳感器執(zhí)行器嵌入式 PC MEMS

ST推出一款全新3D方位傳感器

　　MEMS產(chǎn)品的世界領(lǐng)先廠商意法半導(dǎo)體（紐約證券交易所代碼：STM）推出一款全新3D方位傳感器，是ST計(jì)劃開發(fā)的新系列傳感器產(chǎn)品的首款產(chǎn)品。通過在一個(gè)簡(jiǎn)單易用的表面貼裝封裝內(nèi)整合多項(xiàng)傳統(tǒng)傳感器功能，ST計(jì)劃開發(fā)一系列重要的多功能MEMS傳感器。全新FC30芯片集成3D方位和鼠標(biāo)單擊/雙擊檢測(cè)功能，使設(shè)計(jì)人員能夠在產(chǎn)品設(shè)計(jì)內(nèi)集成鼠標(biāo)按鍵控制功能。　　“FC30是一系列全新多功能傳感器的首款產(chǎn)品，以完整的轉(zhuǎn)鑰解決方案，讓客戶在系統(tǒng)微控制器上簡(jiǎn)化系統(tǒng)復(fù)雜性，降低處理開銷。”意法半導(dǎo)
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ST推出新款MEMS單軸航向陀螺儀LISY300AL

　　MEMS產(chǎn)品市場(chǎng)的全球領(lǐng)先企業(yè)意法半導(dǎo)體（紐約證券交易所代碼：STM）推出新款MEMS單軸航向陀螺儀LISY300AL，這款產(chǎn)品采用7 x 7 x 1.5mm的表面貼裝封裝，角速度測(cè)量性能高達(dá)每秒300度（全量程）。新產(chǎn)品的主要特性包括：高靈敏度，電源電壓范圍擴(kuò)大，從2.7V到3.6V，省電模式可選。新產(chǎn)品還有助于降低游戲控制器、直觀指向設(shè)備、車用或個(gè)人用導(dǎo)航儀等設(shè)備的待機(jī)功耗，并具備圖像穩(wěn)定功能。　　利用意法半導(dǎo)體市場(chǎng)領(lǐng)先的MEMS技術(shù)，結(jié)合MEMS技術(shù)出色的強(qiáng)健性能，在溫度變化的條件下和整個(gè)產(chǎn)
關(guān)鍵字： ST MEMS 陀螺儀

ST推出全新"陀螺儀"角速度傳感器

　　意法半導(dǎo)體（ST）推出新款MEMS單軸航向陀螺儀LISY300AL，這款產(chǎn)品采用7 x 7 x 1.5mm的表面貼裝封裝，角速度測(cè)量性能高達(dá)每秒300度（全量程）。新產(chǎn)品的主要特性包括：高靈敏度，電源電壓范圍擴(kuò)大，從2.7V到3.6V，省電模式可選。新產(chǎn)品還有助于降低游戲控制器、直觀指向設(shè)備、車用或個(gè)人用導(dǎo)航儀等設(shè)備的待機(jī)功耗，并具備圖像穩(wěn)定功能。　　利用意法半導(dǎo)體市場(chǎng)領(lǐng)先的MEMS技術(shù)，結(jié)合MEMS技術(shù)出色的強(qiáng)健性能，在溫度變化的條件下和整個(gè)產(chǎn)品生命周期內(nèi)，LISY300AL的靈敏度表現(xiàn)非常穩(wěn)
關(guān)鍵字： ST MEMS 陀螺儀傳感器

汽車元器件: 另一掘金寶礦

　　如今汽車業(yè)締造的產(chǎn)業(yè)鏈價(jià)值在飛速擴(kuò)張。統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2006年中國(guó)的汽車產(chǎn)量達(dá)727.97萬輛，預(yù)計(jì)2007年汽車產(chǎn)銷量將超過830萬輛，2010年中國(guó)汽車總產(chǎn)量將達(dá)1100萬輛。“直線上升”的數(shù)字背后，帶來對(duì)汽車元器件如傳感器、繼電器、揚(yáng)聲器等需求量絕對(duì)值的橫向擴(kuò)展，汽車業(yè)已成為元器件業(yè)的另一掘金寶礦。未來隨著對(duì)汽車舒適化、智能化需求的增長(zhǎng)及新技術(shù)在汽車上的應(yīng)用不斷升級(jí)，對(duì)汽車元器件的要求亦不斷提高。　　汽車需求空間巨大　　在汽車上用量最多的元器件無疑是傳
關(guān)鍵字：汽車傳感器繼電器微特電 MEMS

MEMS劃片技術(shù)的現(xiàn)狀與技術(shù)革新

　　0 引言　　MEMS主要包括微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分，是在融合多種微細(xì)加工技術(shù)，并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的高科技前沿學(xué)科。MEMS是一種全新的必須同時(shí)考慮多種物理場(chǎng)混合作用的研發(fā)領(lǐng)域，相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械，它們的尺寸往往在微米和亞微米量級(jí)。制造上主要采用以Si為主的材料、集成電路(IC)的加工技術(shù)，可以在Si片指定位置上進(jìn)行蝕刻或生長(zhǎng)附加材料層，從而形成一個(gè)特殊的功能結(jié)構(gòu)。MEMS芯片有的帶有腔體和薄膜、有的帶有懸梁，這些微機(jī)械結(jié)構(gòu)容易因機(jī)械接觸而損
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嵌入式微型投影顯示技術(shù)前景廣闊

　嵌入式微型投影顯示以實(shí)際手機(jī)產(chǎn)品模型的形式，在2008年美國(guó)拉斯維加斯國(guó)際消費(fèi)電子大展(2008CES)上正式亮相，它很快就引起了移動(dòng)通信與便攜多媒體以及數(shù)字顯示等相關(guān)技術(shù)行業(yè)的強(qiáng)烈反響，業(yè)界很快認(rèn)同迷你投影這一新型的嵌入式模組技術(shù)，為各類數(shù)字移動(dòng)多媒體和通信系統(tǒng)技術(shù)和產(chǎn)品提供了全新的便攜顯示平臺(tái)。　　移動(dòng)電子終端最佳輔助功能　 2008CES展后，包括諾基亞、三星和摩托羅拉在內(nèi)的全球主要手機(jī)制造廠商相繼宣稱，計(jì)劃2008
關(guān)鍵字：嵌入式微型投影顯示消費(fèi)電子移動(dòng)電子終端諾基亞 LCD MEMS LCOS DLP

ADI公司推出最新基于MEMS的振動(dòng)傳感器

　　Analog Devices, Inc.（紐約證券交易所代碼: ADI），全球領(lǐng)先的高性能信號(hào)處理解決方案供應(yīng)商，最新推出一款寬帶寬的MEMS振動(dòng)傳感器ADXL001，可以更好的監(jiān)控工廠設(shè)備性能，縮短因不可預(yù)測(cè)的系統(tǒng)故障造成的高成本宕機(jī)時(shí)間。ADXL001工業(yè)振動(dòng)與沖擊傳感器基于ADI公司的iMEMS Motion Signal Processing™（運(yùn)動(dòng)信號(hào)處理）技術(shù)，使工業(yè)過程控制儀器設(shè)計(jì)人員采用簡(jiǎn)單的傳感器解決方案就可實(shí)現(xiàn)高性價(jià)比、高性能且可靠的寬帶振動(dòng)監(jiān)控。　　在當(dāng)今工廠環(huán)境
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高集成度促傳感器市場(chǎng)日益數(shù)字化

　　模擬還是數(shù)字？在工業(yè)化測(cè)量和控制領(lǐng)域，這還存在爭(zhēng)執(zhí)。盡管問題很簡(jiǎn)單，并且有越來越多的數(shù)字化產(chǎn)品，但仍然很難下結(jié)論。　　傳感器設(shè)備集成了越來越多的數(shù)字化電路和接口。一些控制領(lǐng)域的應(yīng)用，要求很多不同的輸入以及多變量的處理。這些復(fù)雜的要求只有數(shù)字電路應(yīng)付得過來。然而，在另一些應(yīng)用中，模擬依舊占主導(dǎo)地位。　　傳感器提供了數(shù)字輸出信號(hào)，這需要內(nèi)部具備集成的電路，如ADC以及串行器。因?yàn)橹圃旆绞较嗤?，所需材料相同，基于MEMS的傳感器非常適合數(shù)字化。　　歐洲Measurement Specialtie
關(guān)鍵字：芯片傳感器模擬數(shù)字 MEMS 集成電路

消費(fèi)應(yīng)用將成為MEMS首要市場(chǎng) 封裝技術(shù)亟須完善

　　從2007年到2012年，MEMS市場(chǎng)的年復(fù)合增長(zhǎng)率將達(dá)到14%。為了滿足市場(chǎng)需求，MEMS企業(yè)和Foundry（晶圓代工廠）都在提高生產(chǎn)制造水平，擴(kuò)大自己的產(chǎn)能。而MEMS的制造也將從現(xiàn)在的5英寸和6英寸線向8英寸線轉(zhuǎn)移。意法半導(dǎo)體開始應(yīng)用其8英寸制造設(shè)施，歐姆龍、飛思卡爾等企業(yè)開始購(gòu)買或建立8英寸MEMS生產(chǎn)線。　　MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）產(chǎn)品以前多被應(yīng)用到國(guó)防工業(yè)和汽車上，但在去年它被成功應(yīng)用到游戲機(jī)Wii上，而引起市場(chǎng)的廣泛關(guān)注。市場(chǎng)調(diào)研公司Yole預(yù)測(cè)，2008年，MEMS全球市場(chǎng)將達(dá)到7
關(guān)鍵字： MEMS ic37 Wii Foundry

QMEMS為晶體元器件性能提升提供保障

移動(dòng)通信、數(shù)字消費(fèi)、網(wǎng)絡(luò)技術(shù)、汽車電子、機(jī)器人以及電子標(biāo)簽等等，這些托起半導(dǎo)體一個(gè)又一個(gè)發(fā)展波峰的應(yīng)用同樣成就了一個(gè)龐大的晶體元件市場(chǎng)。在日本，人們把半導(dǎo)體(IC)稱作“產(chǎn)業(yè)之米”，晶體元件則被當(dāng)作“產(chǎn)業(yè)之鹽”。鹽不但是調(diào)味品，也是人體必需的的物質(zhì)，晶體元件在電子器件中同樣不可缺。晶體元件用途廣泛根據(jù)Epson Toyocom公司的調(diào)查，2007年“產(chǎn)業(yè)之鹽”已經(jīng)形成了一個(gè)4510億日元（1美元兌換106日元）的巨大市
關(guān)鍵字： Epson Toyocom 晶體元件 MEMS QMEMS 陀螺儀傳感器