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射頻工藝和手機射頻元件的集成策略

閃耀光柵數(shù)字微鏡的結(jié)構設計與驅(qū)動仿真

  • 　　基于MEMS的閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術是一種全新的顯示技術, 它的基本工作原理為：平行的復合白色光線以固定的入射角照射在閃耀光柵微鏡陣列上，驅(qū)動電路驅(qū)動每個像素單元的閃耀光柵微鏡偏轉(zhuǎn)不同角度，在特定的衍射方向上得到的R、G、B以及不可見波長的光線經(jīng)過成像鏡頭后形成彩色畫面。 　　微鏡結(jié)構設計的基本要求 　　閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術的核心部件是閃耀光柵數(shù)字微鏡。要達到便攜應用和投影應用的目的，閃耀光柵數(shù)字微鏡結(jié)構設計需滿足以下基本要求。 　　盡可能減小顯示單元的尺寸 　　為了得到準確的基色，要求
  • 關鍵字： MEMS  閃耀光柵數(shù)字微鏡  結(jié)構  驅(qū)動  

單電容式及差分電容式MEMS傳感器檢測系統(tǒng)

  • 摘要：傳感器技術是信息社會的四大支柱之一，傳感器和計算機結(jié)合形成的智能系統(tǒng)大大的拓展了人類生活的空間。在傳感器家族中，根據(jù)電容的物理特性制作的傳感器占有重要地位。電容傳感器是很好的狀態(tài)傳感器，可提高電容檢測，尤其是微小電容檢測的精度，是目前測控技術的熱點。本文重點介紹一套微小電容差分高精度檢測電路，該套電路可測物體的運動加速度，加速度計的分辨率可達2-18。 關鍵詞：電容式傳感器；MEMS；信號調(diào)理；檢測電路 電容式傳感器工作原理 ?　　電容式傳感器分單電容式和差分電容式二種。如圖
  • 關鍵字： 單電容式  差分電容式  MEMS  傳感器  200803  

MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制

  • 　　1 引言 　　大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預報、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。傳統(tǒng)的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術不僅可以解決上述缺點，還能極大地降低成本，而性能更為優(yōu)異。如今基于MEMS技術得到廣泛應用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類，壓阻式壓力傳感器的線性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結(jié)構更具魯棒性，但線性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
  • 關鍵字： MEMS  

MEMS固態(tài)風速風向傳感器的設計與制作

  • 　　1 引言 　　風速及風向的測量是氣象觀測中重要的一環(huán)。風速風向可以基于流體力學原理、熱學原理、聲學原理和仿生學原理來測量。熱式測風儀基于風對熱體的對流作用來測量風速和風向，其存在一個精密的熱源，通過把兩對相對的熱源與熱電偶正交放置測量風向。超聲測風儀可以同時進行超聲波的發(fā)射和接收，基于多普勒效應測量風速，用三個或者四個探頭根據(jù)三角關系測量風向信息?；贛EMS技術傳感器有體積小、重量輕及成本低的特點，基于MEMS技術的風速和風向測量傳感器受到了研究者的重視。 　　本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風速風
  • 關鍵字： MEMS  

MEMS傳感器進駐汽車發(fā)動機

  • 　　近年來，從半導體集成電路(IC)技術發(fā)展而來的MEMS (微電子機械系統(tǒng))技術日漸成熟。利用這一技術可以制作各種性能敏感的力學量、磁學量、熱學量、化學量和微生物的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點使得它們非常適合于汽車方面的應用。 MEMS將成為汽車傳感器的主流技術 　　20世紀80年代微型加速度傳感器開始用于汽車安全氣囊，它們是到目前為止大量生產(chǎn)的、并在汽車中得到廣泛應用的微型傳感器。然而微型傳感器的
  • 關鍵字： MEMS 傳感器  

MEMS機油壓力傳感器可靠性研究

  • 1 引言 　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發(fā)展起來的高新技術，用MEMS技術研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，它們已經(jīng)開始逐步取代基于傳統(tǒng)機電技術的壓力傳感器。目前已有多種MEMS壓力傳感器應用到了汽車電子系統(tǒng)中，如發(fā)動機共軌壓力、機油壓力、歧管空氣進氣壓力、汽車胎壓壓力等。其中機油壓力傳感器是用于測量汽車發(fā)動機油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關系到汽車和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開發(fā)出汽車發(fā)動機機油壓力傳
  • 關鍵字： MEMS 傳感器  

汽車MEMS傳感器應用及發(fā)展

  • 摘要：本文通過大量的文獻資料，評述汽車MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器的應用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，其中重點介紹幾種傳感器的原理和結(jié)構，同時對該領域的產(chǎn)業(yè)化也進行了探討。 關鍵詞：汽車傳感器、微機電系統(tǒng)、力敏器件。 一、引言 　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術和專用的微機電加工方法的基礎上蓬勃發(fā)展起來的高新科技，其研究開發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)三個方面，目前主導MEMS市場的傳感器已形成產(chǎn)業(yè)。用此技術研制的五花八門的微傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、響應快、靈敏度高、易生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，可以測量各種物理
  • 關鍵字： MEMS 傳感器  

傳統(tǒng)半導體廠商對MEMS的思考

  • 最近幾年來MEMS（Micro Electro MECHANICAL Systems）技術在國內(nèi)外得到了迅猛的發(fā)展，MEMS產(chǎn)品已經(jīng)有了開拓性的應用，MEMS產(chǎn)業(yè)鏈將會迅速掘起，預計2007年全球MEMS元器件銷售總額將突破70億美元。
  • 關鍵字： 半導體  MEMS  

傳感器：與IC趨于集成MEMS遍及高端

  • 汽車電子控制系統(tǒng)的“正常運轉(zhuǎn)”離不開傳感器的保駕護航，通過傳感器可將各種諸如壓力、流量、位置、高度、距離、速度、轉(zhuǎn)速、溫度等信號傳遞到動力系統(tǒng)、安全系統(tǒng)等控制單元，達到汽車正常駕駛的目的。
  • 關鍵字： 傳感器  IC  MEMS  

三軸加速度計在水下結(jié)構振動測試中的應用

  • 電子產(chǎn)品世界,為電子工程師提供全面的電子產(chǎn)品信息和行業(yè)解決方案,是電子工程師的技術中心和交流中心,是電子產(chǎn)品的市場中心,EEPW 20年的品牌歷史,是電子工程師的網(wǎng)絡家園
  • 關鍵字： MEMS  ADXL330  

飛思卡爾建成先進的200-mm MEMS生產(chǎn)線

  • 　　飛思卡爾半導體建成先進的微機電系統(tǒng)(MEMS)200-mm(8-inch)生產(chǎn)線來滿足不斷增長的傳感器市場需求。這套新生產(chǎn)線是在飛思卡爾設在德克薩斯州奧斯汀的Oak Hill Fab建成的，是對公司在日本仙臺的現(xiàn)有150-mm(6-inch) MEMS生產(chǎn)線的補充。 　　隨著MEMS傳感器市場的持續(xù)增長，大批量MEMS生產(chǎn)技術仍顯得至關重要。飛思卡爾在生產(chǎn)基于MEMS的傳感器方面已有25年以上的歷史，是業(yè)界領先的大批量傳感器提供商，可提供全面的加速、壓力和接近傳感器。借助可實現(xiàn)全面的傳感、控制、連接
  • 關鍵字： 飛思卡爾  半導體  MEMS  MCU和嵌入式微處理器  

市場分析：大陸傳感器產(chǎn)業(yè)面臨新發(fā)展

  • 　　中國傳感器近年來，通過技術引進與改造，中國大陸敏感元件及傳感器業(yè)已形成一定的產(chǎn)業(yè)基礎與生產(chǎn)能力，MEMS等5項新型傳感器已列入研究開發(fā)的重點。據(jù)信息產(chǎn)業(yè)部科技情報研究所編制的《2006～2007年中國電子廠商名錄》統(tǒng)計，目前中國大陸有455個從事敏感元件及傳感器生產(chǎn)的廠商，所涉及企業(yè)多達1,400多家，呈現(xiàn)出良好的發(fā)展態(tài)勢，但綜合實力較強的骨干企業(yè)較少。目前，能批量生產(chǎn)的產(chǎn)品涉及光敏、電壓敏、熱敏、力敏、氣敏、磁敏和濕敏7大類，約3,000多個品種。據(jù)中國電子元件協(xié)會統(tǒng)計，2006年中國大陸傳感器產(chǎn)品
  • 關鍵字： 傳感器  MEMS  傳感器  執(zhí)行器  

高通公司為韓國KTF提供低功耗顯示技術

  • 　　美國高通公司的全資子公司高通MEMS技術有限公司今天宣布，韓國KT Freetel(KTF)公司宣布選擇高通公司基于MEMS的 mirasol ™顯示技術用于其SHOW WCDMA監(jiān)控系統(tǒng)。KTF是韓國最大的電信運營商之一，也是韓國首家WCDMA無線運營商。KTF公司和高通公司將在2008年國際消費電子展的高通公司合作伙伴展區(qū)(南3號館，展位號30340)上展示該SHOW監(jiān)控系統(tǒng)。 　　KTF的SHOW監(jiān)控系統(tǒng)利用3G WCDMA將SHOW攝像裝置拍攝的實況視頻傳輸?shù)街付ǖ囊苿与娫?，是進
  • 關鍵字： 高通  MEMS  KTF  音視頻技術  

新型傳感器研發(fā)呈現(xiàn)的五大特點

  • 　　當今世界發(fā)達國家對傳感器技術發(fā)展極為重視，視為涉及國家安全、經(jīng)濟發(fā)展和科技進步的關鍵技術之一，將其列入國家科技發(fā)展戰(zhàn)略計劃之中。因此，近年來傳感技術迅速發(fā)展，傳感器新原理、新材料和新技術的研究更加深入、廣泛，傳感器新品種、新結(jié)構、新應用不斷涌現(xiàn)、層出不窮。 　　微型化速度加快 　　值得特別關注的是近年來隨著集成微電子機械加工技術的日趨成熟，傳感器制作技術進入了一個展新階段。微電子技術和微機械技術相結(jié)合，器件結(jié)構從二維到三維，實現(xiàn)進一步微型化、微功耗，并研究把傳感器送入人體，進入血管，研究稱分子的重
  • 關鍵字： 傳感器  MEMS  芯片  傳感器  
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