道達智能科技首套純自研12吋半導體OHT天車量產出貨
9月16日,由道達智能科技生產的首套純自研(供電、軟件、機構)12吋半導體OHT天車量產出貨,本次發(fā)貨的設備涵蓋了OHT(Overhead Hoist Transport,天車)、STK(Stocker,智能晶圓存儲設備)、OHB(Over Head Buffer,空中存儲裝置)、Manual L/P(Manual Load Port,晶圓裝卸機)、Lifter(跨樓層垂直輸送設備)等多款設備。同時,道達也為該客戶提供全棧CIM解決方案。屆時,通過工廠信息化和自動化的有效結合和執(zhí)行,道達智能科技將與客戶一道,助力半導體產業(yè)提速前行。
在12吋半導體廠中,OHT天車是不可缺少的關鍵設備。該設備復雜程度高、技術攻關難度大且市場準入門檻高,長期被國外廠商高度壟斷,國內市場全部依賴進口。此次純國產12吋半導體“麒麟”O(jiān)HT天車量產出貨,不僅標志著道達規(guī)?;慨a能力已躍上新臺階,也是道達堅持“硬科技 軟實力”核心能力的重要佐證。
此次為客戶提供的CIM AMHS解決方案,作為道達首創(chuàng)泛半導體產業(yè)最為成熟完善的Matrix 智能工廠生產模式,CIM AMHS構建了智能工廠軟硬一體的整體輸出,實現了半導體智能制造新的高度。道達運用自研非接觸式供電結合自主可控的機構設計,通過成熟穩(wěn)定的軟件調度系統(tǒng),助力實現智慧FAB效率和良率的提升。
資料顯示,道達智能科技(TOTA) 是一家為泛半導體產業(yè)提供智能工廠軟硬一體解決方案的高新技術企業(yè)。公司總部位于南京,服務機構覆蓋上海、蘇州、西安、北京、成都等城市。2020年與東南大學共建南京東道電子裝備技術研究院。依托團隊近20年的經驗積累,以及持續(xù)的核心技術原生研發(fā)和創(chuàng)新,打造了泛半導體產業(yè)最為成熟完善的Matrix 智能工廠(CIM AMHS)解決方案。
編輯:芯智訊-林子 來源:道達智能科技
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