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Crossing Automation推出18寸晶圓分類機(jī)Spartan450

—— Crossing Automation進(jìn)軍18寸半導(dǎo)體制造
作者: 時(shí)間:2011-10-08 來源:電子發(fā)燒友 收藏

  廠與機(jī)臺(tái)自動(dòng)化供應(yīng)商 Crossing Automation Inc. 日前推出18寸分類機(jī)—— Spartan 450 ,並宣布這臺(tái)全新分類機(jī)已接獲一領(lǐng)導(dǎo)業(yè)者訂單。此平臺(tái)預(yù)估將于 2012 年第一季出貨。

本文引用地址:http://butianyuan.cn/article/124140.htm

  Crossing Automation 的 Spartan 450 分類機(jī)為市場首批專門生產(chǎn) 18 寸的大型分類機(jī)。它融合所有關(guān)鍵功能以與制造執(zhí)系統(tǒng) (MES) 接合,進(jìn)而啟用全方位晶圓管理。它初期鎖定 22 奈米技術(shù)節(jié)點(diǎn),可縮小至 7 奈米節(jié)點(diǎn)。全新分類機(jī)的設(shè)計(jì)采用經(jīng)生產(chǎn)驗(yàn)證的 Crossing 12 寸 Spartan 平臺(tái),至今已有逾 1,000 個(gè)系統(tǒng)應(yīng)用在高產(chǎn)量的制造上。

  與 12 寸 Spartan 相同,18 寸分類機(jī)以單機(jī)、整合單位設(shè)計(jì),可更快達(dá)成機(jī)臺(tái)安裝與工具連結(jié),移動(dòng)更簡便,提高靈活性,加速極致生產(chǎn)率。

  Gartner 研究總監(jiān) Samuel Tuan Wang 指出 :“18 寸晶圓對(duì)廠商深具吸引力,因?yàn)檎麄€(gè)矽晶表面部分及其良率均較小尺寸的晶圓來得大。近幾年來,12 寸晶圓發(fā)展蓬勃,已取代 8 寸晶圓,成為晶圓技術(shù)的主流。由 12 寸晶圓邁入 18 寸晶圓將使晶片生產(chǎn)力加倍,且產(chǎn)業(yè)將有機(jī)會(huì)持續(xù)茁壯成長。”



關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體 晶圓

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