功率LDM0 S中的場(chǎng)極板設(shè)計(jì)

摘要：本文提出了LDMOS器件漂移區(qū)電場(chǎng)分布和電勢(shì)分布的二維解析模型，并在此基礎(chǔ)上得出了LDMOS漂移區(qū)電勢(shì)分布和電場(chǎng)分布的解析表達(dá)式。通過(guò)表達(dá)式的結(jié)果，研究了多晶硅場(chǎng)板的長(zhǎng)度和位置對(duì)于器件表面電場(chǎng)和電勢(shì)的影響，解析結(jié)果與MEDICI結(jié)果相符。
關(guān)鍵詞：橫向擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體；多晶硅場(chǎng)板；表面電場(chǎng)；表面電勢(shì)

0 引言
隨著功率集成電路的飛速發(fā)展，功率半導(dǎo)體器件的研究與開(kāi)發(fā)顯得愈發(fā)重要。LDMOS是DMOS器件的一種橫向高壓器件。具有耐壓高、增益大、失真低等優(yōu)點(diǎn)，并且更易與CMOS工藝兼容，因此在射頻集成電路中得到了廣泛的應(yīng)用。目前LDMOS設(shè)計(jì)的重點(diǎn)是如何合理緩和擊穿電壓與導(dǎo)通電阻之間的矛盾，并且保證其有較高的穩(wěn)定性。
場(chǎng)板技術(shù)是功率LDMOS器件中使用最為頻繁的一種終端技術(shù)。合理的場(chǎng)板設(shè)計(jì)可以使漂移區(qū)的平均電場(chǎng)增加，減小電場(chǎng)峰值，從而達(dá)到抑制熱載流子效應(yīng)，提高擊穿電壓等目的。因此，建立LDMOS的電場(chǎng)分布模型，理論上對(duì)場(chǎng)板下的電場(chǎng)分布進(jìn)行數(shù)值分析有重要的現(xiàn)實(shí)指導(dǎo)意義。本文將通過(guò)建立二維解析模型研究LDMOS的場(chǎng)板的不同結(jié)構(gòu)對(duì)于其漂移區(qū)電場(chǎng)和電勢(shì)的影響，并在此基礎(chǔ)上通過(guò)優(yōu)化場(chǎng)板來(lái)提高LDMOS的性能。

1 二維解析模型

LDMOS的橫向切面圖如圖l所示。其中X和Y分別為距漂移區(qū)左上角的橫向距離和縱向距離，漂移區(qū)分成五部分，各區(qū)邊界點(diǎn)的橫坐標(biāo)分別設(shè)為L(zhǎng)1、L2、L3、L4和L5。各區(qū)對(duì)應(yīng)的襯底耗盡層寬度分別為tis(i=1，2，3，4，5)。柵極下氧化層的厚度為tox1，場(chǎng)板下的氧化層厚度為tox2，漏端下氧化層厚度為tox3。n-drift漂移區(qū)的濃度為Nn，厚度為td。P型硅襯底濃度為Nsub，所加?xùn)艍簽閂g1，場(chǎng)板所加電壓為Vg2，漏壓Vd。源極和襯底接地。則漂移區(qū)的二維電勢(shì)分布φ(x，y)滿足二維泊松方程：

其中εo和εsi分別為真空介電常數(shù)和Si的介電常數(shù)。
由于漂移區(qū)是均勻摻雜的，在1區(qū)(0≤x≤L1)對(duì)式(1)進(jìn)行y方向的積分可得：

由于Si02／Si界面上的電位移是連續(xù)的，忽略Si02中固定電荷，可得：