TFT-LCD制造技術(shù)與工藝
薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)通常采用兩個加工過程并行進行加工成成品,如圖1所示。其基本工藝如下:
本文引用地址:http://butianyuan.cn/article/166052.htm
● 通過前玻璃基板/彩色濾光基板工藝過程形成精確排列的彩色濾光層。
● 薄膜基板工藝形成薄膜晶體管液晶(TFT)陣列及顯示器像素控制所用其它電子元件。每個像素一般對應(yīng)三個薄膜晶體管液晶(TFT),每個像素控制一個共同構(gòu)成一個像素的“色點”。薄膜形成工藝采用與半導體制造技術(shù)相類似的CVD、Etch及PVD等工藝技術(shù)。此類工藝步驟應(yīng)反復數(shù)次,連續(xù)膜層方可形成一個功能元件(圖2)。
● 兩塊基板合二為一,中間注入液晶材料。
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