微電子50年—新中國(guó)半導(dǎo)體事業(yè)的坎坷路

　　回望50年

　　歲月如流，58年大學(xué)畢業(yè)至今，半個(gè)世紀(jì)已逝去，而往事卻歷歷在目，仿佛就發(fā)生在昨天，一幕又一幕……

　　走進(jìn)微電子

　　56年毛主席，周總理為了發(fā)展我國(guó)的科學(xué)事業(yè)，采取了四項(xiàng)緊急措施，其中之一就是加速半導(dǎo)體學(xué)科的發(fā)展，清華當(dāng)年即創(chuàng)辦了半導(dǎo)體專業(yè)，57年李志堅(jiān)教授從前蘇聯(lián)學(xué)成回國(guó)，領(lǐng)導(dǎo)教研室，58年前蘇聯(lián)專家又來(lái)清華講學(xué)，因此母校華中工學(xué)院(今華中理工大學(xué))即時(shí)派我到清華進(jìn)修，主攻半導(dǎo)體器件，從此與微電子學(xué)結(jié)上了終身之緣。

　　我是與清華首屆半零[1]同學(xué)一起聽(tīng)課和學(xué)習(xí)的，全部課余時(shí)間在初創(chuàng)的實(shí)驗(yàn)室參加科研。我被分配到晶體管組，進(jìn)行合金P-N結(jié)的研究并自制一臺(tái)晶體管參數(shù)測(cè)試儀。這種理論與實(shí)踐高度結(jié)合的效果非常好，李教授剛講完能帶論、P-N結(jié)，我們馬上能在科研中看到它、測(cè)到它。這是一個(gè)充滿活力的集體，雖然學(xué)習(xí)、科研很緊張，但大家都非常愉快、融洽，它既培養(yǎng)了我們的刻苦鉆研精神，又培養(yǎng)了我們的團(tuán)隊(duì)精神。

　　60年學(xué)畢返校，創(chuàng)建了半導(dǎo)體專業(yè)，講授半導(dǎo)體器件與材料課，同時(shí)帶領(lǐng)一批比我更年青的教工和學(xué)生，風(fēng)風(fēng)火火地創(chuàng)建了實(shí)驗(yàn)室。什么都自己動(dòng)手干，并研制出了半導(dǎo)體二極管。當(dāng)時(shí)居然得到心中敬仰的科學(xué)院院長(zhǎng)、著名詩(shī)人、作家郭沫若的視察及鼓勵(lì)，大家非常興奮?？墒侨昀щy時(shí)期到了!糧食很緊張，國(guó)家制定了調(diào)整方針，學(xué)校對(duì)一批剛上馬的專業(yè)也調(diào)整了，半導(dǎo)體下馬。62年10月按應(yīng)屆畢業(yè)生分配到了中科院計(jì)算所二室101組(固體電路組)工作。一進(jìn)實(shí)驗(yàn)室，四壁空空，只看見(jiàn)一個(gè)年青人，身穿白大褂，蹲在一個(gè)電爐旁邊，爐上有一個(gè)玻璃燒杯，里面有幾塊指甲蓋大小的紫藍(lán)色硅片，他說(shuō)：“這是要做二極管的”。我心里暗想，似曾相識(shí)!后來(lái)才了解到，本組是由59年剛回國(guó)的青年科學(xué)家黃敞研究員領(lǐng)導(dǎo)，他還在北大講授半導(dǎo)體器件課，52年美國(guó)哈佛大學(xué)畢業(yè)后即從事晶體三極管的創(chuàng)業(yè)工作，應(yīng)該屬于晶體管的創(chuàng)始人之一。58年就在美國(guó)電化學(xué)與半導(dǎo)體會(huì)議上發(fā)表過(guò)外延模型，并預(yù)言可以改善晶體管特性。當(dāng)時(shí)組里正在研究厚膜電阻譯碼器二極管矩陣(混合集成電路)以及外延技術(shù)，這在國(guó)內(nèi)是領(lǐng)先的，與世界亦是同步的。我立即被分配負(fù)責(zé)研制平面二極管，接著研制外延小功率開(kāi)關(guān)三極管，一切都很吸引人，開(kāi)始埋頭苦干。63年9月，我們組被命名為十一室(集成電路研究室)。

　　激情燃燒的日子---參加微型計(jì)算機(jī)研制

　　65年8月，我們?nèi)⒓恿艘粋€(gè)院里召開(kāi)的大會(huì)，黨委書(shū)記兼副院長(zhǎng)張勁夫在臺(tái)上來(lái)回走動(dòng)，激動(dòng)地?fù)]動(dòng)雙手說(shuō)：“我提著腦袋把任務(wù)給你們要來(lái)了，你們要好好干”!，會(huì)上宣布，成立計(jì)算所二部，亦稱“156”，專門(mén)研制微型計(jì)算機(jī)。我們?cè)谂_(tái)下，亦熱血沸騰!深知自己參加的工作，是國(guó)家所急需，是時(shí)代賦予的使命，心中既高興，又緊張!隨后，很快從科大、清華調(diào)來(lái)了十來(lái)個(gè)畢業(yè)生，干部及設(shè)備也配齊了。特別是從東北光機(jī)所三天之內(nèi)調(diào)來(lái)了一個(gè)室。我被任命負(fù)責(zé)研制外延中功率開(kāi)關(guān)三極管，這個(gè)任務(wù)難度很大，初期做出的P-N結(jié)總是低壓擊穿，飽和壓降也下不來(lái)，于是將全組排成三班倒。大家都是隨叫隨到，正副組長(zhǎng)則是12小時(shí)一輪換，常常一天干13-14個(gè)小時(shí)。黃敞先生也親自指導(dǎo)，教我不要局限一點(diǎn)，要全面考慮各種參數(shù)的全面配合，我們又重新設(shè)計(jì)了版圖……那時(shí)全組團(tuán)結(jié)得如一個(gè)人，人人盡職盡責(zé)，指到哪，打到哪，真是激情燃燒的日子!部室領(lǐng)導(dǎo)也抓的非常緊?？蒲刑幪庨L(zhǎng)馬慶魁就常站在實(shí)驗(yàn)室外面等著芯片，副主任何紹宗晚上給我們送面條、面包……情景十分感人。主任趙松巖則遙望南樓，感慨的說(shuō)：“燈火輝煌156”。記得我們室有一個(gè)叫韓景春的同志，負(fù)責(zé)封裝，既無(wú)資料更無(wú)經(jīng)驗(yàn)，只有不斷地摸索才能前進(jìn)，在他試驗(yàn)用什么化學(xué)藥品時(shí)，沒(méi)有高級(jí)設(shè)備去分析，只靠舌頭去嘗，感到不對(duì)勁時(shí)，就跑到水龍頭處馬上用水沖。在這樣的條件下，他把研制出的組件硬是給封好了!76年他重病在身，已病危了，我去看他時(shí)，他已經(jīng)神志不清了，但還陸陸續(xù)續(xù)跟我說(shuō)：“毛主席還活著，他正在深圳的上空走著呢!”聽(tīng)著聽(tīng)著，我的淚水灑滿了面頰。當(dāng)時(shí)就是這樣一群人，為了國(guó)家的需要，無(wú)私地奉獻(xiàn)著自己的青春乃至生命!既無(wú)職稱、無(wú)榮譽(yù)，更無(wú)光環(huán)、獎(jiǎng)金，卻默默無(wú)聞地工作了一輩子，他們什么也不求，只求祖國(guó)的富強(qiáng)!