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EEPW首頁 >> 主題列表 >> 光刻機

華虹12寸晶圓廠裝備大陸最先進(jìn)沉浸式光刻機：邁向14nm

  • 　　中芯國際花了1.2億美元從荷蘭ASML(阿斯麥)買來一臺EUV極紫外光刻機，未來可用于生產(chǎn)7nm工藝芯片，長江存儲也迎來了自己的第一臺光刻機，同樣來自ASML，不過是193nm沉浸式，用于產(chǎn)20-14nm工藝的3D NAND閃存晶圓，7200萬美元一臺?！　?jù)集微網(wǎng)報道， 5月21日上午，在上海浦東新區(qū)康橋工業(yè)園南區(qū)，華虹集團(tuán)旗下上海華力集成電路制造有限公司建設(shè)和營運的12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項目(“華虹六廠”)實現(xiàn)首臺工藝設(shè)備光刻機搬入?！　∵@臺光刻機的型號是NXT 1980Di，依然是荷蘭ASML提
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探秘中國通信芯片那些事：行業(yè)中流砥柱

  • 中美經(jīng)貿(mào)關(guān)系開始緩和，未來在高科技領(lǐng)域的合作將更多，競爭也將更加激烈。
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價值7200萬美元，長江存儲首臺光刻機運抵武漢

  • 　　長江存儲的首臺光刻機已于今天中午運抵武漢天河機場，設(shè)備相關(guān)的海關(guān)、商檢及邊防口岸的相關(guān)手續(xù)辦理完成后，即可運至長江存儲的工廠。據(jù)集微網(wǎng)獨家消息，這臺光刻機為ASML的193nm浸潤式光刻機，售價7200萬美元，用于14nm~20nm工藝。這也從側(cè)面透露了長江存儲3D NAND閃存芯片的工藝制程。這是長江存儲的第一臺光刻機，陸續(xù)還會有多臺運抵。　　圖：ASML的光刻機安全降落武漢天河機場，正在卸貨中　　在今年的4月5日，長江存儲首批400萬美元的精密儀器開始進(jìn)場安裝，標(biāo)志著國家存儲器基地從廠房建設(shè)階段進(jìn)
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這些“細(xì)節(jié)”讓中國難望頂級光刻機項背

  • 真正的核心技術(shù)靠化緣是要不來的。我們還有多少亟待攻克的關(guān)鍵核心技術(shù)，差距在哪，需要從哪些方面突破?
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上海微電子采購Bumotec機床 加速中國光刻機研發(fā)

  • 　　去年，一臺價值1.06億元設(shè)備經(jīng)空運從荷蘭飛抵廈門，由于該設(shè)備價值高，而且對保存和運輸有著很高的要求——保存溫度必須保持在23攝氏度恒溫狀態(tài)下，為了避免影響設(shè)備的精度，在運輸中也對穩(wěn)定性有極高的要求。因此，機場海關(guān)以機坪查驗的方式對該貨物實行全程機邊監(jiān)管，待貨物裝入特制溫控氣墊車后移至海關(guān)的機坪視頻監(jiān)控探頭之下，在完成緊急查驗后當(dāng)晚就放行。 　　沒錯，這臺設(shè)備就是荷蘭ASML的光刻機。鐵流猜測，這臺設(shè)備很有可能是廈門當(dāng)?shù)卣c臺灣聯(lián)華電子合資的晶圓廠從荷蘭ASML采購的。
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半導(dǎo)體廠商無不識君 聊一聊隱形大佬ASML

  • ASML是集合了西方光學(xué)應(yīng)用科學(xué)與半導(dǎo)體尖端制造設(shè)備技術(shù)于一體的科技龐然大物，它的影響力是任何一個國家在半導(dǎo)體領(lǐng)域都無法忽視的。
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光刻機領(lǐng)域國內(nèi)接近世界先進(jìn)水平，9nm線寬光刻實現(xiàn)突破

  • 　　SEMICON China 2017開幕日即3月14日，上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司(后簡稱“SMEE”)宣布，SMEE 與荷蘭公司 ASML 簽署戰(zhàn)略合作備忘錄(MoU)，為雙方進(jìn)一步的潛在合作奠定了基礎(chǔ)。 　　根據(jù)這項合作備忘錄，ASML 和 SMEE 將探索就 ASML 光刻系統(tǒng)的特定模塊或半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)產(chǎn)品進(jìn)行采購的可能性。此次MoU的簽署代表 ASML 繼日前與上海集成電路研發(fā)中心(ICRD)宣布合作之后，進(jìn)一步深入?yún)⑴c中國的IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。 　　光刻機被稱
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耗費巨資購買EUV光刻機 臺積電有何打算？

  • 臺積電、三星與英特爾之間先進(jìn)制程的戰(zhàn)局依舊如火如荼的展開，三方比拼毫不手軟。
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片內(nèi)相位測量工具模擬光刻機

  • 關(guān)鍵字：片內(nèi)相位測量 模擬光刻機采用特殊照明方式的高/超高數(shù)值孔徑（NA）的193nm光刻機和相位移掩膜版（PSM），使得光刻分辨率的極限達(dá)到了32nm節(jié)點。不利的因素是掩膜的復(fù)雜度正在以指數(shù)級遞增，而業(yè)界又迫切需要
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ASML TWINSCAN系統(tǒng)實現(xiàn)新的里程碑

  • 　　ASML近日宣布，兩位使用TWINSCAN 光刻機的芯片制造商實現(xiàn)了生產(chǎn)新紀(jì)錄，即在24小時內(nèi)實現(xiàn)了超過4000片晶圓的處理。這個里程碑記錄是在XT:870和XT:400上實現(xiàn)的，兩家使用者為亞洲的不同客戶。設(shè)備幫助他們提高了300mm光刻生產(chǎn)能力。 　
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沉浸式光刻機供貨緊缺 臺系內(nèi)存芯片廠制程升級受阻

  • 　　據(jù)內(nèi)存業(yè)者透露，由于著名光刻設(shè)備廠商ASML生產(chǎn)的NXT:1950i沉浸式光刻機目前供貨十分緊缺，因此臺系內(nèi)存芯片廠商收到所訂購的這種設(shè)備的時間 可能會再后延12個月之久，由于NXT:1950i沉浸式光刻機對這些廠商轉(zhuǎn)移到38nm以上級別制程至關(guān)重要，因此預(yù)計臺系內(nèi)存芯片廠商制程轉(zhuǎn)換的進(jìn)度 會受到較大的影響。NXT:1950i 是荷蘭ASML公司最新開發(fā)的沉浸式光刻機，可用于制造12英寸32nm及以上級別制程的產(chǎn)品. 　　此前曾有報道稱 NXT:1950i的訂貨至到貨日期已經(jīng)被拉長到了將近12個月，
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Imec和ASML共同驗證用于沉浸式光刻的新型照明系統(tǒng)

  • 　　Imec和ASML已合作驗證ASML的Tachyon Source Mask Optimization和可編程照明系統(tǒng)FlexRay，通過22nm SRAM單元的制造展示了其潛在應(yīng)用價值。今年10月，imec使用的ASML XT：1900i掃描光刻設(shè)備將安裝FlexRay產(chǎn)品，幫助imec進(jìn)一步開拓沉浸式光刻技術(shù)的應(yīng)用。
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ASML Q2業(yè)績創(chuàng)新高 6套EUV設(shè)備將交貨

  • 　　ASML日前宣布，其2010年Q2凈銷售達(dá)到1,069 million歐元，凈收入為239 million 歐元，Q2的凈訂單價值1,179 million 歐元，包括了48套新系統(tǒng)及11套二手系統(tǒng)。各項數(shù)據(jù)均較2010年Q1有所提高。 　　ASML總裁兼CEO Eric Meurice認(rèn)為，Q2銷售的強勁增長證明了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)近期對于光刻設(shè)備的需求，已有近20套NXT:1950i 設(shè)備運出。所有ASML的先進(jìn)NXT光刻機都包括了一個或多個一體化光刻部件。對于下一代將要應(yīng)用于20nm以下節(jié)點的產(chǎn)品，E
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09尼康Nikon光刻機銷售下降

  • 　　Nikon的09半導(dǎo)體設(shè)備銷售額與08年相比下降31.7%為16億美元。 　　09年虧損6,32億美元, 相比于08年盈利8600萬美元。其中半導(dǎo)體用光刻機銷售數(shù)量下降40%及LCD用光刻機下降30%。 　　按路透社報道,日本尼康公司計劃在2011年3月底結(jié)算的年度中, 銷售半導(dǎo)體用光刻機48臺, 相比09年的36臺,及LCD用光刻機58臺, 相比09年的45臺。
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全球存儲器短缺的三個理由

  • 　　2010年全球存儲器可能出現(xiàn)供應(yīng)缺貨，而且非?？赡軙永m(xù)下去。為什么?可能有三個原因，1)，存儲器市場復(fù)蘇;2)，前幾年中存儲器投資不足;3)，由ASML供應(yīng)的光刻機交貨期延長。 　　巴克菜投資公司的分析師 Tim Luke在近期的報告中指出，通過存儲器的食物供應(yīng)鏈看到大量的例證，認(rèn)為目前存儲器供應(yīng)偏緊的局面將持續(xù)2010整年，甚至延伸到2011年。 　　據(jù)它的報告稱，2010年全球NAND閃存的位增長可達(dá)70%，而2009增長為41%。2010年全球DRAM的位增長達(dá)52%。 　　Luke認(rèn)為
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光刻機介紹

國外半導(dǎo)體設(shè)備 我公司擁有國外半導(dǎo)體設(shè)備,包括臺灣3S公司生產(chǎn)的光刻機,涂膠臺, 金絲球焊機,電子束蒸發(fā)臺。 濺射臺及探針臺等各種設(shè)備,世界知名劃片機企業(yè)英國Loadpoint公司生產(chǎn)的6英寸--12英寸 精密劃片機，300毫米清洗機,。 如您感興趣請登錄以下網(wǎng)站或Email: 網(wǎng)址:http://www.loadpoint.com.cn www.chihoc [ 查看詳細(xì) ]

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