支持2埃米量產！ASML最新路線圖曝光：2030年推出Hyper NA EUV！

近年來，隨著半導體尖端制程工藝越來越逼近物理極限，荷蘭光刻機大廠ASML生產的EUV光刻機已經成為了繼續(xù)推動晶體管微縮的關鍵設備，而當制程工藝進入2nm以下的埃米時代，可能就需要用到售價高達3.5億歐元的High NA EUV（0.55NA）光刻機。在2023年底，ASML已經開始向英特爾交付了首套High NA EUV光刻機，英特爾也于上個月完成了組裝。雖然，High NA EUV光刻機剛開始出貨，但是ASML已經在加緊研發(fā)新一代的Hyper-NA EUV光刻機，為其尋找合適的解決方案。根據(jù)EETimes報導，ASML近期公布了還處于開發(fā)早期階段的Hyper NA EUV光刻機的技術藍圖，預計最快將會在2030年推出。

Hyper NA EUV光刻機2030年推出

ASML前總裁兼首席技術官、現(xiàn)任公司顧問Martin van den Brink在2024年5月舉行的imec ITF World的演講中宣布，ASML已經可用其試驗性質的High NA EUV（EXE：5200）光刻機打印生產8nm線寬，這是的新紀錄，這打破了該公司在4月初當時創(chuàng)下的記錄（10nm線寬），而且還具有一定程度的重疊覆蓋。Martin van den Brink強調，ASML當前已經取得了出色的進展，因此，對High NA EUV光刻機的發(fā)展充滿信心，預計未來將能夠繼續(xù)突破其極限。

同時，Martin van den Brink還透露，ASML計劃在2030年左右正式推出Hyper NA EUV光刻機，其數(shù)值孔徑（NA）將達到0.75，以便實現(xiàn)更高分辨率的圖案化及更小的晶體管特征。相較之下，High NA EUV光刻機的數(shù)值孔徑為0.55，標準EUV光刻機則是0.33。對于ASML而言，“十年后，我們將擁有一個Low NA、High NA 和 Hyper NA 的共用的單一EUV平臺”，借此可以進一步改善成本和交貨時間。

從最新曝光的ASML光刻機路線圖來看，0.75NA的Hyper NA EUV光刻機的型號的前綴為“HXE”，預計首款產品將會在2030年前后推出。

imec圖案化項目總監(jiān)Kurt Ronse也感嘆道，這是 ASML 首次將 Hyper NA EUV光刻機添加到其產品路線圖當中。

從設備生產效率的路線圖來看，ASML剛剛出貨的High NA EUV光刻機（EXE:5000），目前的生產速度僅每小時150片晶圓，預計到2026年左右，將會提升到每小時約200片晶圓，屆時也會推出第二代的High NA EUV光刻機（EXE：5200B），2028年前后會推出第三代的High NA EUV光刻機（EXE：5400），2030年前后將會推出更高速的第四代High NA EUV光刻機（EXE：5600），將采用高透射率、低PFR的柔性發(fā)光器。后續(xù)到2035年前后，新的High NA EUV光刻機產能將會提高到每小時300片晶圓，達到目前出貨的High NA EUV光刻機（EXE：5000）產能的2倍。但是該路線圖并未透露Hyper NA EUV光刻機的生產效率數(shù)據(jù)，不過考慮到Hyper NA EUV光刻的機的復雜度及面臨的更多的挑戰(zhàn)，預計初期的產能將會低于每小時200片晶圓。

從支持的工藝節(jié)點來看，根據(jù)Martin van den Brink 此前披露的未來15年的邏輯器件的工藝路線圖來看，利用目前的0.3NA的標準型EUV光刻機支持到2025年2nm的量產，再往下就需要通過多重曝光技術來實現(xiàn)，但支持到2027年量產的1.4nm將會是極限。而0.55NA的High NA EUV光刻機則可以支持到2029年1nm制程的量產，如果采用多重曝光，則可以支持到2033年量產的5埃米（0.5nm）制程節(jié)點，再往下就可能必須要采用0.75NA的Hyper NA EUV光刻機，或許可以支持到2埃米（0.2nm）以下的制程節(jié)點，這里路線圖上打了一個問號，所以不確定Hyper NA EUV光刻機能否支持下去。

這里需要強調的是，雖然一個硅原子的直徑大概就在1埃米左右，但是這里的所有的制程節(jié)點命名都只是等效指標，并不是真實的物理指標。2埃米制程節(jié)點的對應的晶體管的金屬間距為大約在16-12nm，進入到2埃米以下制程以下，金屬間距才會進一步縮小到14-10nm。

當然，這里光有先進的先進的光刻機是不夠的，還需要先進的掩模和光刻膠，以及更復雜的晶體管架構來進行支持，這需要大量的研發(fā)資金投入。

目前，其他使用 EUV 光刻機的領先芯片制造商，如三星、美光和 SK 海力士，也在考慮High NA EUV光刻機。臺積電可能也會提前使用這項技術。ASML上周暗示，可能將在2024年底前向臺積電出貨High NA EUV光刻機。

Ronse 表示：“High NA 應該會持續(xù)貫穿從 2nm 到 1.4nm、10埃米甚至7埃米的工藝節(jié)點?！彼a充說，此后，Hyper NA 將開始占據(jù)主導地位。

Hyper NA EUV面臨的挑戰(zhàn)

“imec 在兩年前就已經開始利用計算機模擬研究 Hyper NA。目前有很多研究正在進行，我們能把NA提高到 0.55 以上，未來能達到 0.75、0.85 嗎？Hyper NA肯定會帶來一些新挑戰(zhàn)。”作為與 ASML 合作開發(fā)光刻技術已有 30 多年的老將，Kurt Ronse分析道：“其中一個挑戰(zhàn)是，光的偏振從 0.55 NA 左右開始。如果高于 0.55 NA，你很快就會發(fā)現(xiàn)偏振正在破壞對比度，因為偏振方向之一基本上抵消了光線，你需要偏振器來避免這種情況?！钡牵衿鞯娜秉c是阻擋光線、降低能效并增加生產成本。

“Hyper NA 的另一個挑戰(zhàn)是光刻膠。在 0.55 NA 時，我們就已經將光刻膠變薄了。而Hyper NA 的情況則更糟。這將給蝕刻選擇性帶來更多挑戰(zhàn)?！盞urt Ronse說道。

雖然ASML已經向英特爾交付了首臺High NA EUV光刻機，但英特爾目前只是將High NA EUV光刻機用于其Intel 18A工藝的測試，以積累相關經驗，后續(xù)要等到2026年才會被用于Intel 14A的量產。另外臺積電高管此前也曾公開表示，High NA EUV光刻機太過昂貴，臺積電依靠現(xiàn)有的常規(guī)EUV光刻機能力可支持到2026年的A16制程量產。

Ronse 表示：“臺積電目前還不需要High NA EUV光刻機，它可以將其在雙重圖案化方面的專業(yè)知識與現(xiàn)有的 EUV 工具結合起來。雙重曝光中真正關鍵的是邊緣位置誤差，兩個掩模必須完全對齊。而且雙重圖案化，意味著必須把所有事情都做兩遍，這很容易導致成本增加?！盧onse 補充道：“英特爾希望避免這種情況，他們可能沒有像臺積電那樣掌握EUV雙重曝光。因此，他們更喜歡使用High NA EUV 來實現(xiàn)更高的分辨率?！?/p>

Martin van den Brink 在 Imec ITF World論壇上表示：“Hyper NA 這種分辨率更高的工具對于減少工藝步驟至關重要，從而降低處理晶圓所需的成本和能源?！癏yper NA 讓我們遠離雙重圖案化的危險復雜性，”Martin van den Brink 說道。

Hyper NA之后，未來在哪？

Martin van den Brink在2022年接受媒體采訪時就曾表示，Hyper NA可能將是最后一個NA，而且不一定能真正投入生產，這意味經過數(shù)十年的光刻技術創(chuàng)新，我們可能會走到當前半導體光刻技術之路的盡頭。即使Hyper NA能夠實現(xiàn)，但是如果采用Hyper NA技術的制造成本增長速度和目前High NA EUV技術一樣（單臺設備價格高達3.5億歐元），那么經濟層面幾乎是不可行的。

不過，Martin van den Brink于2023年再次談到Hyper NA EUV技術之際，似乎增加了很多的信心，認為Hyper NA EUV將是一個機會，將成為2030年之后的新愿景。在最新的演講當中，Martin van den Brink認為，未來Hyper NA EUV相比High NA EUV上采用雙重曝光的成本將會更低。

從其他技術路線來看，雖然佳能推出了納米壓印技術，希望能夠在某種程度上替代EUV光刻機，但是其生產率通常遠低于High NA EUV光刻機。還有一種想法是，多束電子束光刻技術，它通過將圖案直接寫入硅晶圓來消除使用昂貴的光掩模。唯一一家開發(fā)電子束光刻工具的公司——總部位于荷蘭的 Mapper 公司已經倒閉。

顯然，一旦未來Hyper NA也無路可走，那么就幾乎沒有其他替代品了?！澳銦o法想象會存在只有0.2nm的器件，”Ronse 說道?！八挥袃蓚€原子。在某個時候，現(xiàn)有的光刻技術路線必然會終結?！?/p>

“或許新材料可能會取代硅。有些新材料具有更高的電子遷移率，”Ronse 說道?！暗@些材料很難放到硅晶圓上。研究小組正在研究這個問題。只有在電子必須通過的幾個層面上，你才需要沉積一層非常薄的新材料層。我們需要的是能夠在整個晶圓上均勻沉積該材料曾的專用設備。目前，它還在實驗室里。我們只在小范圍內進行研究。將會有新的沉積設備。此外，蝕刻這些材料可能更加困難，因此我們需要新的蝕刻技術?！?/p>

編輯：芯智訊-浪客劍