沉浸式光刻機供貨緊缺 臺系內(nèi)存芯片廠制程升級受阻

　　據(jù)內(nèi)存業(yè)者透露，由于著名光刻設(shè)備廠商ASML生產(chǎn)的NXT:1950i沉浸式光刻機目前供貨十分緊缺，因此臺系內(nèi)存芯片廠商收到所訂購的這種設(shè)備的時間 可能會再后延12個月之久，由于NXT:1950i沉浸式光刻機對這些廠商轉(zhuǎn)移到38nm以上級別制程至關(guān)重要，因此預(yù)計臺系內(nèi)存芯片廠商制程轉(zhuǎn)換的進度 會受到較大的影響。NXT:1950i 是荷蘭ASML公司最新開發(fā)的沉浸式光刻機，可用于制造12英寸32nm及以上級別制程的產(chǎn)品.

　　此前曾有報道稱 NXT:1950i的訂貨至到貨日期已經(jīng)被拉長到了將近12個月，不少內(nèi)存芯片廠商由于無法拿到這部先進的機型，因此被迫轉(zhuǎn)向使用ASML上一代的XT系列光刻機來生產(chǎn)芯片，而XT系列機型最高只能滿足38nm制程的要求。

　　據(jù)消息來源表示，臺積電，三星以及東芝這三家財大氣粗的公司由于財力雄厚，因此能夠搶在普通內(nèi)存芯片廠商之前預(yù)定了這款先進制造設(shè)備，因此這幾家大廠的制程升級計劃并不會被拖延。

　　iSuppli市調(diào)公司曾在今年八月份的內(nèi)存市場報告中指出，ASML公司新設(shè)備產(chǎn)能的嚴(yán)重不足很可能會影響到今年下半年內(nèi)存市場的供貨狀況。