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high-na euv 文章 進(jìn)入high-na euv技術(shù)社區(qū)
Intel:14nm進(jìn)展順利 一兩年后量產(chǎn)
- Intel CTO Justin Rattner近日對(duì)外披露說(shuō),Intel 14nm工藝的研發(fā)正在按計(jì)劃順利進(jìn)行,會(huì)在一到兩年內(nèi)投入量產(chǎn)。 2013年底,Intel將完成P1272 14nm CPU、P1273 14nm SoC兩項(xiàng)新工藝的開(kāi)發(fā),并為其投產(chǎn)擴(kuò)大對(duì)俄勒岡州Fab D1X、亞利桑那州Fab 42、愛(ài)爾蘭Fab 24等晶圓廠的投資,因此量產(chǎn)要等到2014年了。 而從2015年開(kāi)始,Intel又會(huì)陸續(xù)進(jìn)入10nm、7nm、5nm等更新工藝節(jié)點(diǎn)。 Rattner指出,Intel
- 關(guān)鍵字: Intel 晶圓 EUV
High-end A4監(jiān)聽(tīng)音箱的制作
- 一、設(shè)計(jì)及制作由于普通家庭室.內(nèi)空間不夠?qū)挸?,要求音箱做得盡可能小巧一些,擺放在室內(nèi)不致引人注意。然而,音箱的效率no與箱體容積VB和低頻-3d8滾降點(diǎn)f3有以下關(guān)系:no=knmiddot;f33middot;VB上式中,kn是箱體系
- 關(guān)鍵字: 制作 音箱 監(jiān)聽(tīng) A4 High-end
High-end A4監(jiān)聽(tīng)音箱的制作方法
- 一、設(shè)計(jì)及制作由于普通家庭室.內(nèi)空間不夠?qū)挸ǎ笠粝渥龅帽M可能小巧一些,擺放在室內(nèi)不致引人注意。然而,音箱的效率no與箱體容積VB和低頻-3d8滾降點(diǎn)f3有以下關(guān)系:no=knmiddot;f33middot;VB上式中,kn是箱體系
- 關(guān)鍵字: 制作方法 音箱 監(jiān)聽(tīng) A4 High-end
MIT研究顯示電子束光刻可達(dá)9納米精度
- 美國(guó)麻省理工學(xué)院(MIT)的研究人員日前發(fā)表的一項(xiàng)研究成果顯示,電子束“光刻”精度可以小到9納米的范圍,刷新了以前一項(xiàng)精度為25納米的結(jié)果,這一進(jìn)展有可能為電子束“光刻”和EUV(超紫外)光刻技術(shù)展開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)提供了動(dòng)力。盡管EUV光刻技術(shù)目前在商業(yè)化方面領(lǐng)先一步,有可能在22納米以下的工藝生產(chǎn)中取代目前使用的浸末式光刻技術(shù),但EUV光刻還面臨一些棘手的問(wèn)題,如強(qiáng)光源和光掩膜保護(hù)膜等,而采用電子束“光刻”則不會(huì)存在這些問(wèn)題。
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光源問(wèn)題仍是EUV光刻技術(shù)中的難題
- GlobalFoundries公司的光刻技術(shù)專家Obert Wood在最近召開(kāi)的高級(jí)半導(dǎo)體制造技術(shù)會(huì)議ASMC2011上表示,盡管業(yè)界在改善EUV光刻機(jī)用光源技術(shù)方面取得了一定成效,但光源問(wèn)題仍是EUV光刻技術(shù)成熟過(guò)程中最“忐忑”的因素。
- 關(guān)鍵字: GlobalFoundries EUV
通向14/15nm節(jié)點(diǎn)的技術(shù)挑戰(zhàn)
- 當(dāng)半導(dǎo)體業(yè)準(zhǔn)備進(jìn)入14/15nm節(jié)點(diǎn)時(shí),將面臨眾多的技術(shù)挑戰(zhàn) 對(duì)于邏輯電路,STMicro的Thomas Skotnicki認(rèn)為傳統(tǒng)的CMOS制造工藝方法己不再適用。因?yàn)楫?dāng)器件的尺寸持續(xù)縮小時(shí),由于己達(dá)極限許多缺陷顯現(xiàn)。按IBM技術(shù)經(jīng)理Mukesh Khare看法,如柵氧化層的厚度Tox再縮小有困難。另外,除非采用其它方法,因?yàn)殡S著互連銅線的尺寸縮小銅線的電阻增大及通孔的電阻增大也是另一個(gè)挑戰(zhàn)。
- 關(guān)鍵字: EUV 節(jié)點(diǎn)技術(shù)
Derive simple high-current source from lab sup
- Comprising a standard Force-Sense lab power supply, an additional power supply for the ICs, and a separate control voltage, this adjustable current source provides a 1-to-1 ratio of control voltage to
- 關(guān)鍵字: high-current Derive simple source
GlobalFoundries投入EUV技術(shù) 4年后量產(chǎn)
- 繼晶圓代工大廠臺(tái)積電宣布跨入深紫外光(EUV)微影技術(shù)后,全球晶圓(Global Foundries)也在美國(guó)時(shí)間14日于SEMICON West展會(huì)中宣布,投入EUV微影技術(shù),預(yù)計(jì)于2012年下半將機(jī)臺(tái)導(dǎo)入位于美國(guó)紐約的12寸晶圓廠(Fab 8),將于2014~2015年間正式量產(chǎn)。 由于浸潤(rùn)式微影(Immersion Lithography)機(jī)臺(tái)與雙重曝光(double-patterning)技術(shù),讓微影技術(shù)得以發(fā)展至2x奈米,不過(guò)浸潤(rùn)式微影機(jī)臺(tái)采用的是 193nm波長(zhǎng)的光源,走到22奈米已
- 關(guān)鍵字: 臺(tái)積電 EUV 晶圓代工
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