AMHS
FabEX是一種優(yōu)化的、“無(wú)需等待”的自動(dòng)物料傳送系統(tǒng),擁有其專利技術(shù),傳送晶圓盒的速度非??欤?gt;3米/秒),因而,能縮短生產(chǎn)周期,提高設(shè)備的利用率和增加生產(chǎn)產(chǎn)能。與采用傳統(tǒng)運(yùn)輸裝置或者懸吊式搬運(yùn)車(chē)輛的AMHS...... [查看詳細(xì)]