首套EUV光刻機(jī)安裝完成，英特爾將在愛爾蘭Fab 34量產(chǎn)Intel 4制程

9月29日消息，英特爾近日宣布，其位于愛爾蘭的Fab 34晶圓廠已經(jīng)完成了EUV（極紫外光）光刻設(shè)備的安裝測(cè)試工作，目前已經(jīng)正常開機(jī)，即將開始正式量產(chǎn)Intel 4制程技術(shù)。

英特爾表示，將于當(dāng)?shù)貢r(shí)間9月29日在現(xiàn)場(chǎng)舉行活動(dòng)，慶祝Intel 4制程技術(shù)的量產(chǎn)，公司高層人員也會(huì)參與，包括執(zhí)行長(zhǎng)Pat Gelsinger、技術(shù)開發(fā)總經(jīng)理Ann Kelleher和營(yíng)運(yùn)長(zhǎng)Keyvan Esfarjani等。屆時(shí)英特爾將介紹如何通過EUV技術(shù)達(dá)成生產(chǎn)和產(chǎn)品交貨的過程，引領(lǐng)其先進(jìn)的產(chǎn)品生產(chǎn)，進(jìn)一步提供人工智能（AI）處理器到個(gè)人電腦，再到大型數(shù)據(jù)中心所使用的各類處理器。

據(jù)了解，2022年4月，英特爾Fab 34晶圓廠完成了第一套EUV微影曝光設(shè)備的安裝，這是歐洲首座具備EUV光刻技術(shù)的晶圓廠。過程中，大約有100多名ASML工程師到了Fab 34晶圓廠協(xié)助安裝，同時(shí)英特爾從美國(guó)派來了工程師，負(fù)責(zé)培訓(xùn)Fab 34晶圓廠的員工如何使用EUV微影曝光設(shè)備機(jī)。之前，英特爾向ASML訂購(gòu)了多套EUV光刻設(shè)備，這其中的第一套就是安裝在Fab 34晶圓廠。

另外，為在愛爾蘭的Fab 34晶圓廠是于2019年開始動(dòng)工，在2023年正式投產(chǎn)。英特爾曾表示，愛爾蘭晶圓廠是其全球晶圓廠擴(kuò)建計(jì)劃的一部分，其是為了滿足全球半導(dǎo)體迅速成長(zhǎng)的需求，同時(shí)也為英特爾的Intel 4制程技術(shù)量產(chǎn)鋪路。目前，英特爾計(jì)劃以Fab 34晶圓廠的intel 4制程技術(shù)來生產(chǎn)Meteor Lake和Granite Rapids等處理器。

編輯：芯智訊-林子